電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

 

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

 

在集成電路制造應(yīng)用方面具體包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相沉積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用；

 

在太陽(yáng)能電池應(yīng)用方面具體包括太陽(yáng)能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面具體包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD／LED生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在液晶顯示器應(yīng)用方面具體包括TFT／LCD的應(yīng)用、TFT／LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在光纖應(yīng)用方面具體包括光纖應(yīng)用和光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用。

 

二、一般混合氣體

 

由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱(chēng)為一般混合氣體。

 

對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%，其余是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。另外,含氧20%～60%,其余是氬的混合氣被用來(lái)發(fā)生化學(xué)熒光分析儀用的臭氧。

 

在測(cè)定放射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲烷5%～10%，均以氦為底氣。

 

各種混合氣也常被用作照明燈具的充填氣和數(shù)字顯示管等的充填氣，這類(lèi)氣體大多是用下列兩種以上氣體混合而成的:氬、氖、氦、氪、氮。鹵光源生產(chǎn)則用溴甲烷、氯甲烷、溴化氫、碘甲烷、氯仿等氣體與氬的混合氣。

 

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

 

金屬熱處理保護(hù)氣可用含氫0.5%～10%,其余為氬的混合氣或二氧化碳10%～40%、20%～60%,其余為氮?dú)宓幕旌蠚狻?/div>