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電子級硅烷的性質：
1.硅烷是一種在空氣中自燃的無色、極活性壓縮氣體。相對分子質量為32.112。
2.在21.1℃和101.3kPa下相對密度為1.2。比容0.749m3/kg。101.3kpa下氣體密

度為1.44kg/m3，-185℃下氣體密度為711kg/m3。kPa(1atm)下沸點-112℃，熔

點-184.7℃。臨界溫度-3.4℃，臨界壓力4842kpa(絕對)，臨界密度247kg/m3。

在-122.2℃蒸發(fā)潛熱386kJ/kg。101.3kpa下氣體比熱容Cp1.334kJ/(kg·K)。水中

的溶解度可以忽略不計。
3.氣味令人窒息，與空氣混合形成爆炸性混合物。硅烷與重金屬鹵化物和游離鹵

素發(fā)生強烈反應。硅烷加熱到400℃左右，開始分解成非晶體硅和氫，在600℃以

上以晶體硅的形式分解。

電子級硅烷的用途：
廣泛用于單晶硅膜的外延淀積和多晶硅膜的生產(chǎn)，非晶硅太陽能電池的生產(chǎn)，復

印機的光敏部件的生產(chǎn)，用硅鼓代替硒鼓。玻璃工業(yè)用于生產(chǎn)茶色玻璃。在高科

技領域，硅烷和乙烯可以在激光激活下產(chǎn)生碳化硅超細粉末。激光激活下，硅烷

和氨可以產(chǎn)生氮化硅超細粉末。

電子硅烷氣體制造商紐瑞德特種氣體供應高純硅烷氣體。高純硅烷氣體的價格是

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