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四氟化碳?xì)怏w處理快閃記憶體的應(yīng)用你知道么
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。今天紐瑞德特氣小編月月為大家?guī)硎褂盟姆茧姖{處理三氧化鉬之電荷捕捉層在快閃記憶體的應(yīng)用介紹。更多 +
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當(dāng)?shù)獨庥龅铰葰猓?font color='red'>蝕刻會變得如何？
氯氣，化學(xué)式為Cl?。常溫常壓下為黃綠色有毒氣體，易壓縮,可液化為金黃色液態(tài)氯。氯氣在早期作為造紙、紡織工業(yè)的漂白劑。氮氣常用作保護(hù)氣體，如：瓜果，食品，燈泡填充氣。無論是氮氣還是氯氣，都是常見的化學(xué)氣體，今天紐瑞德特氣小編月月為大家介紹一下當(dāng)氯氣遇到氮氣，氯氣/氮氣混合電漿蝕刻的過程會變得如何有趣！更多 +
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揭秘三氟甲烷于高周波電漿系統(tǒng)中的反應(yīng)機(jī)制
很多客戶都在紐瑞德特種氣體購買過甲烷氣體，但是大家聽說過三氟甲烷么？從名字上看來三氟甲烷很像甲烷氣體的“親戚“是不是？其實三氟甲烷也是烷烴類的氣體之一，三氟甲烷，又稱三氟甲，是一種無色、微味，不導(dǎo)電的氣體，是理想的鹵代烷替代物。三氟甲烷主要用作低溫（-100℃）制冷劑，電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有機(jī)化合物的原料。紐瑞德特氣小編月月就為大家介紹一下三氟甲烷在高周波電漿系統(tǒng)中的反應(yīng)機(jī)制以便大家更好的了解三氟甲烷這個產(chǎn)品。更多 +
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六氟化硫在氮化硅蝕刻中的作用
六氟化硫是一種絕緣性極佳的氣體，經(jīng)常被用于高壓滅弧以及變電器、高壓傳輸線、互感器等當(dāng)中。但是六氟化硫除了這些功能以外，也可以作為電子蝕刻劑使用。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。今天紐瑞德特氣小編月月就為大家介紹一下六氟化硫在氮化硅蝕刻中的應(yīng)用和不同參數(shù)的影響吧。更多 +
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電子氣體的發(fā)展、應(yīng)用、分類及常用電子混合氣體
電子氣體的發(fā)展及其應(yīng)用，電子氣的分類。常用電子混合氣有外延生長混合氣-蝕刻混合氣-摻雜混合氣-化學(xué)氣相沉積混合氣-離子注入氣。更多 +
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