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氣體管道工程中常說(shuō)的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣的？

文章出處：責(zé)任編輯：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2023-06-16 09:51:57【大中小】

高純氦氣

在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會(huì)有一些肉眼難以察覺(jué)的小孔，
使用時(shí)會(huì)導(dǎo)致泄漏，造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中，如果發(fā)生泄漏，輸送超
高純電子特殊氣體的燃?xì)夤艿拦こ虒?duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此檢漏非常重要。

一.常說(shuō)的氦檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項(xiàng)測(cè)試是QC中最重要的一部分，這五項(xiàng)測(cè)試分別是：保壓測(cè)試、
氦氣檢漏測(cè)試（氦檢）、水分測(cè)試、氧分測(cè)試和顆粒測(cè)試，確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水
準(zhǔn)和滿足客戶的需求。

二.氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對(duì)分子質(zhì)量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣
體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點(diǎn)。

1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（氦氣注入法）是通過(guò)內(nèi)部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來(lái)進(jìn)行的

3.檢測(cè)閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣，并在下游抽真空

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內(nèi)填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢
查可能的泄漏點(diǎn)

5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器，檢測(cè)精度不低于1

6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

（1）通過(guò)向內(nèi)泄漏檢測(cè)方法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-9 mbar l/s

（2）閥座泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后，必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，合格后，再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏

8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進(jìn)行隔熱

9.系統(tǒng)測(cè)試后，用高純度氮?dú)饣驓鍤馓畛浜颓鍧?/span>

10.檢查后，應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告

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