氯氣既能夠用于消毒、制作鹽酸和漂白粉、制作氯代烴。也能夠用于制作多種農(nóng)藥，制作氯仿等有機(jī)溶劑，所以氯氣是一種重要的化工原料。氬氣是一種稀有氣體。無(wú)論是氣態(tài)還是液態(tài)，都是無(wú)色、無(wú)味并且無(wú)毒。在不銹鋼、錳、鋁、鈦和其它特種金屬電弧焊接時(shí)、鋼鐵出產(chǎn)時(shí)，氬氣常用作保護(hù)氣體。氬氣和氯氣一個(gè)有毒一個(gè)無(wú)毒，當(dāng)氯氣遇到高純氬氣的時(shí)候會(huì)發(fā)生什么奇妙的反響呢？
   

要了解氯氣和氬氣電漿，咱們先來(lái)了解什么是電漿？等離子體（Plasma）是一種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質(zhì)形態(tài)，廣泛存在于宇宙中，也是宇宙中豐度最高的物質(zhì)形態(tài)，常被視為是物質(zhì)的第四態(tài)，被稱為等離子態(tài)，或許“超氣態(tài)”，也稱“電漿體”。等離子體和一般氣體的最大區(qū)別是它是一種電離氣體。由于存在帶負(fù)電的自由電子和帶正電的離子，有很高的電導(dǎo)率，和電磁場(chǎng)的耦合作用也極強(qiáng)：帶電粒子能夠同電場(chǎng)耦合，帶電粒子流能夠和磁場(chǎng)耦合。
   

科學(xué)家將高純氯氣和高純氬氣混合，研討氯氣和氬氣電漿在不同氣壓、功率及進(jìn)氣混合比時(shí)的改動(dòng)。研討氯氣和氬氣混合電漿，由于純氯氣電漿在低功率與高功率的電漿特性有顯著不同，所以混合電漿也研討在低功率與高功率時(shí)的電漿特性隨混合比的影響。在氯氣和氬氣電漿功率100W，工作氣壓10mTorr，氣體總流量100sccm時(shí)，改動(dòng)Ar/Cl2的進(jìn)氣混合比進(jìn)行模仿，模仿成果發(fā)現(xiàn)參加Ar至氯氣電漿中，要Ar/Cl2的進(jìn)氣混合比約達(dá)80%以上時(shí)，Ar+密度才開(kāi)始大于1%總離子密度，且要混合比達(dá)約97~98%以上時(shí)，Ar+的密度才會(huì)超越Cl+的密度。氯氣和氬氣吸收功率100W時(shí)，電子溫度則會(huì)隨混合比添加而從純氯氣時(shí)的2.27 eV升至純氬氣時(shí)的2.30 eV，電子溫度上升較不顯著，并且Ar混合比在80-90%之間時(shí)，電子溫度會(huì)先下降，然后再持續(xù)上升；Ar混合比于60%時(shí)，及Cl總和之分壓約5 mTorr，可發(fā)現(xiàn)Ar混合比于0~60%所表現(xiàn)的性質(zhì)類似于純氯氣電漿于電漿吸收功率100 W、操作氣壓從10至5 mTorr所表現(xiàn)的改動(dòng)特性。氯氣和氬氣電漿吸收功率600 W時(shí)，Cl粒子空間均勻密度一開(kāi)始就比 粒子空間均勻密度高；而模仿成果顯現(xiàn)參加Ar量不多時(shí)，簡(jiǎn)直不會(huì)影響氯氣電漿的特性，這是由于Ar的游離反響系數(shù)比Cl小很多，必須參加適當(dāng)多量的Ar時(shí)，才會(huì)有較多的Ar發(fā)生并改動(dòng)電漿特性。