氦質譜檢漏儀用高純氦氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。
是一種應用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術相比,氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優(yōu)點。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣,因為氦氣具有以下特性:
1、氦氣在空氣中的含量極少,只占約二十萬分之一,易于發(fā)現(xiàn);
2、氦分子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔;
3、氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;
4、氦氣是無毒、無味,對大氣無污染。
5、氦氣是惰性氣體,化學性質穩(wěn)定,不會腐蝕和損傷設備;
6、氦氣無毒,不凝結,極難容于水。
正因為氦氣具有以上特性,所以氦氣檢漏應用已從科研院所到工業(yè)企業(yè)乃至到個體企業(yè),可以說應用領域極其寬廣。