為了實現(xiàn)對電子元器件更高密封嚴(yán)密性的檢測，自21世紀(jì)開端的幾年，國際上開端出現(xiàn)新型的堆集氦氣質(zhì)譜檢漏儀。這種儀器采用了深冷泵和四極質(zhì)譜倍增器。深冷泵內(nèi)腔溫度可降至20K（-253℃），能夠有用吸收氫氦以外的各種氣體。

使用這種儀器，能夠進(jìn)行粗漏和細(xì)漏的組合檢測。粗漏檢測以氦氣為示蹤氣體，預(yù)充氦或壓氦的粗漏被檢件，在空氣中經(jīng)一段時間的貯存候檢，內(nèi)部的氦氣分氣壓PHe應(yīng)等于或高于正常空氣中的氦氣分氣壓PHe0。設(shè)粗漏檢測拒收的等效規(guī)范漏率判據(jù)為L0，按分子流氣體交流（走漏）形式，在真空下檢測的粗漏氦氣丈量漏率判據(jù)。

細(xì)漏檢測以氦氣或其它氣體為示蹤氣體，檢測的走漏示蹤氣體通過深冷泵，然后通過質(zhì)譜倍增器進(jìn)行一段時間的堆集檢測。因為深冷泵能有用進(jìn)步氦氣對氫以外氣體的信噪比，再通過堆集倍增，非常有用的進(jìn)步了氦氣細(xì)漏檢測的靈敏度。當(dāng)前Inficon公司的Pernicka 700H型CHLD，使用銅墊圈密封小型檢測室時，可檢測的最小氦氣漏率已達(dá)4×10-9Pa·cm3/s，使用不同的檢測室，可檢測的氦氣丈量漏率判據(jù)范圍可為2×10-8Pa·cm3/s～1×10-6Pa·cm3/s。