電子燃?xì)庀到y(tǒng)技術(shù)的應(yīng)用 在一家擁有先進(jìn)技術(shù)的大型集成電路工廠的晶圓制造過(guò)程中，不僅僅有工藝，包括大約三種不同類型的電子氣體。電子供氣系統(tǒng)是指將電子氣體從氣源端穩(wěn)定輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)，不產(chǎn)生二次污染，控制工藝所需的流量和壓力，以滿足工藝要求，確保工藝和產(chǎn)品的安全使用。取決于氣體的類型和供應(yīng)的包裝。 2.氨在電子工業(yè)中的應(yīng)用 氨是氮和氫的化合物。它是一種無(wú)色水溶性氣體，具有特殊的刺鼻氣味。大多數(shù)氨氣用于化肥生產(chǎn)，是幾乎所有含氮化合物的前體。高純度氣體在LED生產(chǎn)中起著決定性作用。高純度氨用于確保生產(chǎn)最高質(zhì)量的LED元件。氧氣中含有水蒸氣分子，即使少量也能大大減少光能。 3.硅烷的使用 硅烷是硅和氫的化合物，容易自燃和爆炸，是一種非常危險(xiǎn)的氣體。目前，它被廣泛用于微電子和光電子行業(yè)，用于制造太陽(yáng)能電池、平板屏幕、玻璃和鋼涂層。此外，它還用于制造先進(jìn)的陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料和其他高科技應(yīng)用。 4.一氧化二氮在電子工業(yè)中的應(yīng)用 一氧化二氮或一氧化氮是一種無(wú)色甜味氣體，廣泛用作電子行業(yè)和食品飲料行業(yè)的氧化劑，甚至在一些電子產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。為了實(shí)現(xiàn)電視、手機(jī)和計(jì)算機(jī)顯示器的更高分辨率和幀速率，一氧化二氮對(duì)于下一代超高分辨率3DTFT LCD（薄膜晶體管液晶）和OLED（發(fā)光二極管）顯示器的成本效益開(kāi)發(fā)至關(guān)重要。