電子混合氣體和計(jì)量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn)，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。
1、電子混合氣體的氣瓶處理
同其他氣體不同，對(duì)盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高，穩(wěn)定性再好也無法使用。
首先混合氣體的氣瓶幾何尺雨如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對(duì)于不同種類的混合氣在氣瓶色標(biāo)、警示標(biāo)志等方面國(guó)外已有極其詳細(xì)的標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)的CGA、歐盟的ISO等，我們國(guó)家在此方面仍在認(rèn)識(shí)和完善中。
2、電子混合氣體配制裝置技術(shù)要求
同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級(jí)別，材質(zhì)為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級(jí)，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng)。
電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣：N2,H2,He,Ar,O2;組分氣：PH3,SiH4,B2h6,Sih6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質(zhì)的含量，設(shè)有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99.9999%，在凈化器的出口設(shè)有在線H2O,O2檢測(cè)儀表，隨時(shí)反映凈化器出口氣體關(guān)鍵雜質(zhì)的含量，這此凈化器內(nèi)置氣體過濾器。
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