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韓國稀有氣體“氖”成功實現(xiàn)國產(chǎn)化!

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2022-01-17 13:58:00【

 

隨著近年來半導(dǎo)體市場的高速增長,半導(dǎo)體工藝中使用的氖 (Ne)、 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國稀有氣體市場預(yù)計將從2020年約1600億韓元增長到2023年約2800億韓元,年均增長20%。然而,韓國目前100%進口稀有氣體。

 

氖氣是空氣中含量僅有0.00182%的一種稀有氣體,是半導(dǎo)體曝光工藝中使用的準(zhǔn)分子激光氣體的原料之一。過去,全部進口并依賴外國技術(shù),由于貿(mào)易爭端導(dǎo)致價格飆升和供應(yīng)短缺,韓國曾試圖將產(chǎn)品本地化。此次建成的裝置每年可生產(chǎn)約22000Nm3高純氖氣,預(yù)計可滿足國內(nèi)需求的16%。POSCO于去年年底完成了產(chǎn)品質(zhì)量評估,今年將完成設(shè)施竣工并正式開始商業(yè)生產(chǎn)。作為成功完成課題的獎勵,TEMC獲得了初期投資金的全部補償,并取得了POSCO氖氣的長期購買權(quán)。

 

浦項制鐵1月12日在光陽工廠制氧廠舉行了“氖氣生產(chǎn)設(shè)備竣工和發(fā)貨儀式”,該項目由韓國鋼鐵制造商浦項制鐵(POSCO)與半導(dǎo)體專用氣體公司TEMC合作。從2019年底開始推進氖氣生產(chǎn)的完全國產(chǎn)化約兩年。公司采用大型空分裝置,以光陽制氧廠和TEMC技術(shù)為基礎(chǔ),自主開發(fā)了國內(nèi)首個氖氣生產(chǎn)設(shè)備。在韓國首次將半導(dǎo)體用稀有氣體氖(Ne)的生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)本地化,并交付了第一批產(chǎn)品。TEMC利用自有技術(shù)對提取的氖氣進行提煉后,完成了準(zhǔn)分子激光氣體生產(chǎn)全過程的國產(chǎn)化。

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