超高純氣體是半導(dǎo)體行業(yè)的生命線

半導(dǎo)體超高純氣體分析旨在研究半導(dǎo)體材料中的氣體雜質(zhì)。通過使用高度

精確的分析技術(shù)，我們能夠檢測和量化這些雜質(zhì)，以便評估其對半導(dǎo)體性

能的影響。這些分析方法包括氣體色譜、質(zhì)譜、全能譜和紅外光譜等。通

過詳細(xì)的氣體分析，我們可以確定半導(dǎo)體中的各種氣體成分，并確定其濃

度和分布。這對于確保半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定性和可靠性至關(guān)重要。因此，半

導(dǎo)體超高純氣體分析是半導(dǎo)體工業(yè)中重要的研究領(lǐng)域之一。
在半導(dǎo)體行業(yè)中，超高純度（UHP）氣體被視為生命線。由于需求空前，

以及全球供應(yīng)鏈中斷導(dǎo)致超高壓氣體價格飆升，新的半導(dǎo)體設(shè)計和制造方

法不斷提高著污染控制的要求水平。對于半導(dǎo)體制造商來說，確保UHP氣

體的純度比以往任何時候都更加重要。
超高純度氣體在半導(dǎo)體行業(yè)的意義非凡。
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中，超高純度（UHP）氣體是絕對關(guān)鍵的。
超高純(UHP)氣體的一個主要應(yīng)用是惰性氣化。UHP氣體用于在半導(dǎo)體元件

周圍創(chuàng)造一種保護氛圍，以防止它們受到大氣中的水分、氧氣和其他污染物

的有害影響。然而，惰性氣化只是UHP氣體在半導(dǎo)體工業(yè)中扮演的眾多不同

功能之一。從初級等離子氣體到用于腐蝕和退火的反應(yīng)性氣體，超高純氣體

在許多不同的用途中得到應(yīng)用，并且在整個半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中都不可或缺。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，有幾種“核心”氣體被廣泛使用。其中氮氣主要用于通用清

洗和作為惰性氣體；氬氣被用作蝕刻和沉積反應(yīng)的主要等離子氣體；氦氣則

被用作具有特殊熱量轉(zhuǎn)移特性的惰性氣體；而氫氣則在退火、沉積、外延和

等離子清洗中都扮演著重要角色。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和改變，制造過程中所采用的氣體也發(fā)生了改變

。目前，半導(dǎo)體制造廠使用的氣體種類多樣，從惰性氣體如氪和氖，到活性

物質(zhì)如三氟化氮（NF3）和六氟化鎢（WF6），覆蓋了廣泛的范圍。

對純度的要求不斷提高
自從第一顆商用微芯片問世以來，全球都目睹了半導(dǎo)體器件以驚人的指數(shù)級

速度不斷提升的性能。在過去的五年里，其中一個最可靠的方法是通過"尺寸

縮放"來實現(xiàn)性能的改進：即減小現(xiàn)有芯片架構(gòu)的關(guān)鍵尺寸，以容納更多晶體

管在同樣的空間內(nèi)。此外，通過開發(fā)新的芯片架構(gòu)以及采用尖端材料，設(shè)備

的性能也邁進了新的臺階。
目前，尖端半導(dǎo)體的關(guān)鍵尺寸已經(jīng)變得非常微小，以至于簡單地縮小尺寸已

經(jīng)不再是提高器件性能的有效途徑。反之，半導(dǎo)體研究人員正在探索新型材

料和3D芯片結(jié)構(gòu)的解決辦法。
經(jīng)過數(shù)十年的不懈努力重新設(shè)計，如今的半導(dǎo)體設(shè)備比舊的微芯片更加強大，

但也更加脆弱。300毫米晶圓制造技術(shù)的出現(xiàn)提高了半導(dǎo)體制造過程中對雜

質(zhì)的控制水平。即使是制造過程中最輕微的污染（尤其是稀有或惰性氣體），

也可能引發(fā)設(shè)備災(zāi)難性的故障。因此，氣體純度如今比以往任何時候都更加

重要。