規(guī)范高純空氣制取與質(zhì)量控制的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
一、高純空氣簡(jiǎn)介
高純空氣是指純度高于99.99%(體積分?jǐn)?shù)),不含任何雜質(zhì)和微量元素的氣體。廣泛應(yīng)用于工業(yè)
生產(chǎn)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,是許多高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要原料。高純空氣一般通過(guò)空氣
中的氮、氧、氬的分離獲得,生產(chǎn)過(guò)程需要嚴(yán)格的控制和質(zhì)量保證措施。
二、高純空氣國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
為了規(guī)范高純空氣的生產(chǎn)和質(zhì)量控制,中國(guó)有關(guān)部門(mén)制定了相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。其中,GB/T 14687
-2011《超高純氣體制備規(guī)范》是超高純氣體制備的規(guī)范性文件,主要包括制氣壓力、制氣設(shè)備、
制氣管道、制氣材料、制氣過(guò)程控制和制氣質(zhì)量檢測(cè);GB/T 20378-2018年《高純氣體制備質(zhì)量控
制標(biāo)準(zhǔn)》是高純氣體制備過(guò)程中的質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn),包括氣體純度、雜質(zhì)含量、含水量、微量元素含
量等方面的要求。
三、高純空氣國(guó)標(biāo)的應(yīng)用
高純空氣應(yīng)用廣泛,主要包括以下幾個(gè)方面:
1. 生命科學(xué)領(lǐng)域:高純氧是許多醫(yī)院和實(shí)驗(yàn)室不可缺少的氣體,用于提供呼吸支持、手術(shù)麻醉、生
物產(chǎn)品培養(yǎng)等。
2. 電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用高純氮?dú)?、氬氣等保護(hù)氣體,可有效減少雜質(zhì)對(duì)芯片
的影響,提高芯片質(zhì)量。
3. 工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域:高純氧氣、氮?dú)獾扔糜诟鞣N工業(yè)生產(chǎn)中的氣體保護(hù)、氣體氛圍控制、氣體溶解等
方面。
4. 環(huán)保領(lǐng)域:高純氧、氫等可用于環(huán)保處理中的氧化還原反應(yīng)、催化反應(yīng)等方面。
四、總結(jié)
高純空氣是許多高科技領(lǐng)域的重要原材料。國(guó)家有關(guān)部門(mén)制定了相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),規(guī)范了高純氣體
的生產(chǎn)和質(zhì)量控制。隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,高純空氣的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒃絹?lái)越廣泛,其國(guó)家標(biāo)
準(zhǔn)的實(shí)施將更加重要。