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電子器件生產(chǎn)工藝中的氮氫混合氣體|紐瑞德特氣

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2020-04-14 15:20:00【

  在電子器件生產(chǎn)工藝中,廣泛使用了各種高純氣體按工藝中高純度氣體的不同用處,可將其分為維護氣、反響氣和載氣。

   
用作維護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣,為取得較高純度的氫氣,一般都選用電解純水的辦法制取。這種辦法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。

為減少電能消耗,降低成本,都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間,以使用氮-氫混合氣為最多。國外多選用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法取得氮氫混合氣, 也有選用液氮分解法取得氮氫混合氣的。
   
用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法,因為選用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均較高. 國外,因為生產(chǎn)的專業(yè)化程度高,使用單位多選用這種辦法取得混合氣。 國內(nèi)若從專業(yè)鋁合金門窗廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣,因為液氮來源不同,大多數(shù)質(zhì)量較差,其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外,液氮多來源于化肥廠,現(xiàn)在,供應上較嚴重,故成本也較高。
   
氮氫混合氣不僅可在生產(chǎn)電子器件時替代氧氣用作維護氣,還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業(yè)。 一旦廣泛推廣使用,必將發(fā)生可觀的經(jīng)濟效益和社會效益。

 

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