如果發(fā)現(xiàn)其含量超過允許值，應(yīng)采取有效措施，包括氣體凈化處理、更換吸附氣體和六氟化硫氣體、拆卸和維護設(shè)備等。六氟化硫裝置的主要水源為：①新鮮氣體六氟化硫中的水；② 設(shè)備組裝過程中進入的水分；③ 固體絕緣物體釋放的水分；④ 運行期間密封件滲水；⑤ 運行過程中多次充氣和測試時產(chǎn)生的水分；⑥ 氣室中的吸附劑失效。

目前，我國有三種儀器：電解水分儀、電阻電容露點儀和鏡面露點儀，其中鏡面露點儀精度最高，電阻電容露點儀測量范圍最廣，電阻電容露點儀現(xiàn)場操作最方便。目前，國內(nèi)只生產(chǎn)電解水分儀，價格便宜；鏡面露點儀和阻容式露點儀依賴進口，價格昂貴，約為國產(chǎn)露點儀的30倍，但使用方便，精度高。

六氟化硫氣體泄漏檢測分為定性檢測和定量檢測。定性檢查是在設(shè)備各連接處的密封點直接檢測鋁鑄件，找出設(shè)備各泄漏點的位置。定量檢測是通過粘結(jié)檢測、掛瓶法或壓力轉(zhuǎn)換計算泄漏量，以獲得年度泄漏率。

定性泄漏檢測包括真空泄漏檢測和泄漏檢測：

① 真空泵檢漏方法是將設(shè)備真空至40Pa，停泵0.5h，讀取真空表上的數(shù)字a，停泵5h，讀取數(shù)字B。≤133pa，假設(shè)密封良好；

② 檢漏儀是將檢漏儀探頭沿設(shè)備各連接口表面和鋁鑄件表面移動，并根據(jù)檢漏儀讀數(shù)評估氣體泄漏。

檢漏儀檢測泄漏時應(yīng)注意：探頭移動速度必須緩慢，以防探頭移動過快，漏點丟失；檢漏時，在高風速條件下，泄漏氣體不得被風吹走，以免影響檢漏。選用高靈敏度、低響應(yīng)速度的檢漏儀。檢漏儀的最小檢測量一般小于1ppm，響應(yīng)速度小于5S。

定量檢漏通常采用扣蓋法、掛瓶法、局部捆綁法、壓降法等方法。按鈕蓋方法適用于高壓斷路器和小型設(shè)備適合蓋的情況。瓶懸掛法適用于法蘭表面有兩個密封槽的情況。局部粘接方法通常用于安裝單元和大型產(chǎn)品。壓降法適用于在機房漏風量較大或運行中測量漏風率。通常，六氟化硫工廠的轉(zhuǎn)移驗收試驗使用局部粘合方法和帶扣蓋方法進行泄漏檢測。