所謂的單頻準分子激光便是脈沖氣體激光，在電流通過時被激活，釋放出某一波長的單色光。氣體是由惰性氣體和鹵素混合而成，激活的惰性氣體和鹵素可形成鹵化物 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”一詞來自激態(tài)分子的意思，即受激態(tài)準分子是一種激態(tài)二聚體“Ｅｘｃｉｍｅｒ Ｄｉｍｅｒ”，這兩個單詞組合成 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”。

目前運用的單頻準分子激光首要有以下幾種：氬氟（ＡｒＦ）準分子激光其波長１９３ｎｍ；氪氟（ＫｒＦ）準分子激光其波長２４８ｎｍ；氙氯（ＸｅＣｌ）準分子激光其波長３０８ｎｍ； 氙氟（ＸｅＦ）準分子激光其波長３５１ｎｍ等。單頻準分子激光是連續(xù)的脈沖氣體激光，釋放的光波長在紫外線范圍內，脈沖寬度為１０～３０ ｎｓ，頻率為０～３５ Ｈｚ，４種單頻準分子激光的波長為氣體特異性的。

目前普遍運用的ArF193以及Xecl308準分子激光現(xiàn)已在醫(yī)學領域和光電職業(yè)得到了廣泛的運用，氣體按科學的方法剖析，從稀有氣體中去除所有有害的雜質。氣體剖析證明，這些雜質的存在會影響準分子激光器達到最佳的運用功能。氣體公司在全球出售這些優(yōu)質的稀有氣體和平衡氣體，以滿足所有準分子激光器的運用需求。全球最大的準分子激光器氣體制造商現(xiàn)已證明：和任何激光器相關的任何氣體或氣體混合物，都對激光器的功能造成極其重要的影響，這些影響包括:

A 脈動能量

B 輸出功率

C 充填一次氣體的運用壽命

D 穩(wěn)定性（一個脈動到另一個脈動）

為了保證激光器功能的最優(yōu)化，氣體的化學家研究團隊仔細剖析每種氣體化合物，特別監(jiān)控對激光器功能有害的雜質氣體，以保證產(chǎn)品的質量。這些剖析首要針對（但不僅限于）水分、氧氣、碳氫化合物、和其他全部不必要的雜質。