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二氟化氙在微機(jī)電系統(tǒng)芯片上的獨(dú)特優(yōu)勢和特點(diǎn)
氟化氙（XeF2）可用于Si、Mo和Ge的各向同性蝕刻，是蝕刻犧牲層來“釋放”MEMS（MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，中文名為Micro Electro-Mechanical System。MEMS芯片，簡而言之，利用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng)，或者更形象地說，創(chuàng)造微米級和納米級的機(jī)械系統(tǒng)，可以將外部物理和化學(xué)信號轉(zhuǎn)換為電信號。）更多 +
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氟化氫HF化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
氟化氫HF化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 氟化氫,氟化氫氣體,氟化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體,氟化氫混合氣體 標(biāo)識中文名：氟化氫msds英文名：Hydrogen fluride 分子式：HF 分子量：20.01 CAS號：7664-39-3 RTECS號：MW7875000 UN編號：1052 危險貨物編號：81015 IMDG規(guī)則頁碼：8185 理化性質(zhì)外觀與性狀：無色液體或氣體。 主要用途：用于蝕刻玻璃，以及制氟化合物。 熔點(diǎn)：-83．7沸點(diǎn)：19．5相對密度(水=1)：1．15更多 +
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三氯化硼B(yǎng)Cl3化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
三氯化硼B(yǎng)Cl3化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 第一部分 化學(xué)品化學(xué)品中文名稱：三氯化硼msds化學(xué)品俗名或商品名：氯化硼化學(xué)品英文名稱：Boron trichloride,Boron chloride推薦用途：高純硼和有機(jī)硼的制取，摻雜、蝕刻、光纖維的制造、擴(kuò)散。限制用途：無資料。第二部分 危險性概述化學(xué)品名稱：三氯化硼 GHS危險性類別：急性毒性—吸入—1 皮膚腐蝕、刺激—1B更多 +
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二氟化氙在微機(jī)電系統(tǒng)芯片上的獨(dú)特優(yōu)勢和功能
由于XeF2是干氣相蝕刻，因此在通過小孔或狹窄空間蝕刻時不存在與表面張力或氣泡相關(guān)的問題。XeF2用于蝕刻直徑小至25nm的通孔。類似地，XEF2避免了通常與濕蝕刻工藝相關(guān)的粘附問題，濕蝕刻工藝可能在釋放/干燥后損壞永久器件。更多 +
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新型MXene化學(xué)電阻式氣體傳感器
高性能室溫新型傳感器材料是氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域的前沿研究課題之一。MXen是一類新興的二維（2D）過渡金屬碳化物/氮化物，通常通過在MAX相中選擇性蝕刻Al來合成。由于MXene具有豐富的表面官能團(tuán)、多功能性、優(yōu)異的溶解性、高金屬導(dǎo)電性和高比表面積等獨(dú)特的財產(chǎn)，它在許多應(yīng)用中都顯示出了潛力，包括氣體傳感器。 根據(jù)Maims咨詢公司的說法，阿拉伯聯(lián)合酋長國大學(xué)最近開發(fā)了一種由海膽制成的耐化學(xué)性氣體傳感器，如碳化釩（V2CTx）MXen（V2C/V2O5 MXene）的五氧化二釩（V2O5）混合材料，用于室溫下的氣更多 +
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含氟蝕刻氣體的種類和介紹
目前，氟化蝕刻氣體是一種隱形的“刀具”，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD前端工藝，甚至可以在微米厚的薄層上切割納米級凹槽。你能仔細(xì)想想這幅畫嗎？ 那么，氟化蝕刻氣體是什么呢？它們是如何工作的？ 用于蝕刻的氣體稱為蝕刻氣體，通常是氟化物氣體，如四氟、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個重要分支，是制造超大集成電路、平面顯示器、太陽能電池和玻璃纖維等電子工業(yè)不可或缺的原材料。它們被廣泛用于半導(dǎo)體工藝，如薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積和擴(kuò)散。國家發(fā)展改革委《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)更多 +
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氣體分級有哪些?電子級氣體的規(guī)模又是如何？
天然氣行業(yè)術(shù)語。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類：純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。什么是電子氣體？合力燃?xì)猓ㄉ虾＃┯邢薰灸壳暗囊?guī)模是多少？ 電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據(jù)純度和用途，電子氣體可分為電子級、LSI（大規(guī)模集成電路）級、VLSI（超大規(guī)模集成電路）和ULSI（超大規(guī)模電路）級。 通常，那些大約5N的可以稱為電子質(zhì)量。5N表示五個9，即99.999%?，F(xiàn)場凈更多 +
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電子特種氣體是特種氣體的一個重要分支
特種電子氣體（以下簡稱特種電子氣體）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、平面顯示設(shè)備（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。 電子氣體廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的工藝，如離子注入、蝕刻、氣相沉積、摻雜等。電子半導(dǎo)體器件的性能與電子氣體的質(zhì)量密切相關(guān)。 產(chǎn)業(yè)鏈上下游 工業(yè)氣體工業(yè)的原料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等。其上游產(chǎn)業(yè)為氣體分離和清潔設(shè)備、基礎(chǔ)化學(xué)原料工業(yè)、壓力容器設(shè)備等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、更多 +
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介紹電子級氣體的小知識
天然氣行業(yè)術(shù)語。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類：純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據(jù)純度和用途，電子氣體可分為電子級、LSI（大規(guī)模集成電路）級、VLSI（超大規(guī)模集成電路）和ULSI（超大規(guī)模電路）級。 優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術(shù)發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)材料，特別是在VLSI、LCD器件、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的&ldquo更多 +
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六氟乙烷的應(yīng)用
電子工業(yè)：六氟乙烷作為等離子體蝕刻的工作氣體，在微電子工業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用，是處理超大規(guī)模集成電路的必要介質(zhì)； 2.制冷和空調(diào)行業(yè)：六氟乙烷用作制冷和空調(diào)的制冷劑。六氟乙烷也可以與HFC-23形成共沸物R-508B，這不會破壞臭氧層。R-508B在多級壓縮循環(huán)的低溫段中用作CF-13和R-503的替代品； 3.化學(xué)工業(yè)：六氟乙烷可作為化學(xué)反應(yīng)中的氟化物添加劑； 4.能源工業(yè)：六氟乙烷可作為電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度的冷卻劑； 5.其他：六氟乙烷可用于設(shè)備表面清潔和纖維生產(chǎn)。更多 +
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