近年來(lái)鉆石薄膜在表面處理上適應(yīng)于塑膠、玻璃、陶器及金屬，而溫度近乎室內(nèi)氣溫，對(duì)天然鉆石特別適合，采用了鉆石薄膜表面處理后，可發(fā)揮其性能。對(duì)多類(lèi)金屬、玻璃及塑膠產(chǎn)品上，可使其產(chǎn)品表面較硬能抵御耐磨。所以有很多五金廠家以及其它行業(yè)喜歡用鉆石薄膜作為最后一道工藝來(lái)處理自己的產(chǎn)品，增加產(chǎn)品壽命。經(jīng)過(guò)研究發(fā)現(xiàn)氬氣和甲烷混合氣能夠促進(jìn)鉆石薄膜成長(zhǎng)，增大納米顆粒的大小，接下來(lái)就由紐瑞德特氣小編月月為大家?guī)?lái)詳細(xì)介紹。

  以低功率和無(wú)添加任何氫氣和氧氣之Ar/CH4的混合之微波電漿輔助化學(xué)氣相沉積法成長(zhǎng)鉆石薄膜。在成長(zhǎng)鉆石薄膜的反應(yīng)過(guò)程中過(guò)多的碳含量會(huì)在反應(yīng)腔體內(nèi)形成非鉆石相的石墨，因此為了防止這類(lèi)不良的氣相反應(yīng)，在一個(gè)固定氣體壓力和混合氣體的比率等條下，降低流入反應(yīng)腔體的氣體流量，觀察氣體駐留在腔體的反應(yīng)時(shí)間對(duì)成長(zhǎng)鉆石薄膜之影向進(jìn)行研究。首先將預(yù)設(shè)好的總混合氣體流量固定，在氣體流入反應(yīng)腔體前方計(jì)置一個(gè)配有質(zhì)量流量控制器的分流系統(tǒng)，將一部份的氣體借由此系統(tǒng)排放出去，只讓所需要之氣體流量進(jìn)入反應(yīng)腔體內(nèi)，進(jìn)行反應(yīng)。在這過(guò)程中混合氣體的比率、氣體壓力、微波功率及基板溫度都保持不變。當(dāng)分流總氣體流量百分比到達(dá)一定的流量時(shí)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，一個(gè)品質(zhì)良好、表面平滑的超奈米鉆石薄膜成功沉積在硅基板上。此外也利用Ar/CH4混合氣體所形成的電漿之自體偏壓使基板與電漿之間相互作用達(dá)到最佳化，進(jìn)而促進(jìn)鉆石薄膜的成長(zhǎng)。通過(guò)微調(diào)製程氣體壓力使Ar/CH4混合氣體形成的微波電漿與基板在一定的距離下相互作用，在沒(méi)有添加任何的氫或氧的情況下可使鉆石薄膜的晶粒由超奈米鉆石增長(zhǎng)至微米鉆石晶粒般的大小。

  補(bǔ)充說(shuō)明：

  甲烷是一種無(wú)色無(wú)臭易燃?xì)怏w，微溶于水，溶于乙醇、乙醚、苯、甲苯等。高純甲烷氣體主要用于標(biāo)準(zhǔn)氣，校正氣，太陽(yáng)能電池，非晶硅膜，乙烴、氫氣、合成氨等。

  氬氣在在飛機(jī)制造、造船、原子能工業(yè)和機(jī)械工業(yè)部門(mén)等領(lǐng)域多有應(yīng)用，但一般用作氣體保護(hù)氣。

  氬甲烷混合氣主要由99.999%的高純氬和99.99%的高純甲烷組成，比例：90％氬氣＋10％甲烷，包裝：40L鋼瓶，壓力：10MPa，（僅供參考）用途：廣泛用于X射線熒光光譜儀、電子俘獲檢測(cè)器等儀器。

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