制備和應(yīng)用超高純氮?dú)獾姆椒?/b>
超純氣體是指純度高于99.999%的氣體,是一種高純度的化學(xué)試劑。為了滿足一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的
特殊需要而制備。對(duì)于一些需要特別純氣體的部門,超純氣體的純度高達(dá)99.999%,每升氣體的粒度大于
0.5μm的塵粒數(shù)量應(yīng)小于三個(gè)。
超純氣體品種用途:
大約有300種。中國(guó)可以生產(chǎn)十多種單一的超純氣體,幾十種混合超純氣體。除了表中列出的主要品種外
,還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等單一超純氣體。
混合超純氣體是上述單一超純氣體的混合氣體,具有純氬-氮混合氣體用于電光源中鎢絲的還原,純氬-鎂
混合氣體、氬報(bào)-氦混合氣體用于霓虹燈充氣等。,以及許多超純混合氣體作為色譜、質(zhì)譜和光譜分析中的
標(biāo)準(zhǔn)氣體。
超純氣體的制備多為工業(yè)氣體的純化,包括吸附、吸收、膜擴(kuò)散、電解、生化、輻射、光解、低溫精餾、
催化等。比如超純氫、氮、氦、氬,先通過空氣分離提取更純的氣體,再通過低溫吸附獲得超純的氣體;
粗氬也可以從合成氨放氣中提?。淮蛛春碗瘡暮肆炎儦庵刑崛?,然后通過純化獲得超純氣體。
吸附法、變壓吸附法、膜分離法等都是超高純氮純化的主要方法。生產(chǎn)中,一般采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?/span>
超高純氮?dú)?/span>
用途:
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空設(shè)備的制造中,它被用作保護(hù)氣體和運(yùn)輸氣體、化學(xué)氣相積累時(shí)的氣體和
液體擴(kuò)散源的氣體,在高溫?cái)U(kuò)散爐中被用作設(shè)備的保護(hù)氣體。超高純氮在延伸、光刻、清洗和蒸發(fā)過程
中被用作替代、干燥、儲(chǔ)存和輸送氣體。顯像管制造要求氮純度在99.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加
注系統(tǒng)必須首先用超高純氮替代,然后用超高純氮替代。
貯運(yùn):
對(duì)于超純氣體,任何微小的污染都會(huì)嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量,因此氣體儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中的清潔度和高密封
性尤為重要。超純氣體主要儲(chǔ)存和運(yùn)輸高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器。高壓鋼瓶堅(jiān)固耐用,運(yùn)輸使用靈活,
氣體無損耗,但氣體純度穩(wěn)定性差;低溫液化氣體容器容量大,但有氣體排放損耗。
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