氬氣純化的方法
純度是評估氣體品質(zhì)的一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn),對于氣體而言尤為重要。作為一種惰
性氣體,氬氣被廣泛應(yīng)用于單晶和多晶生產(chǎn)的保護(hù)氣體中。為了確保硅
晶體的品質(zhì),選擇高純度的氬氣至關(guān)重要。這不僅能夠延長晶體的使用
壽命,還能夠滿足市場的需求。
一般來說,氬氣的凈化是通過使用清潔裝置來完成的。氬氣的凈化方法
可以分為直接脫氧法和吸氣劑提純法兩種。
直接脫氧法:通過讓活性金屬與氬氣中的氧發(fā)生反應(yīng),將氬氣中的氧分
解掉,從而實(shí)現(xiàn)脫氧的目標(biāo)。此外,利用分子篩吸附作用,可以去除氬
氣中的水分子,使得氬氣的水含量控制在小于1ppm以下。
清潔吸氣劑的方法:使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑能夠與氣體中
微小的雜質(zhì)結(jié)合,使氣體變得更加純凈。通過使用吸氣劑凈化方法處理
,高純度氬氣的純度可達(dá)到六個(gè)九。
以上列出的兩種方法是對氬氣凈化方法的簡要介紹。相較而言,吸氣劑
清洗方法對設(shè)備的投資較大,但能夠達(dá)到更高的純度。這一方法在工業(yè)
領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。