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氙氣在電子芯片制造業(yè)中的應(yīng)用

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氙氣在電子芯片制造業(yè)中的應(yīng)用

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氙氣的最新用途是用在電子芯片制造業(yè),也是目前氙需求增長(zhǎng)及對(duì)氙投機(jī)買賣的最重要原因,幾家大型芯片制造商正使

用氙氣等離子蝕刻,主要用于微電子機(jī)械系統(tǒng)( MEMS )的制造。MEMS設(shè)備可將微電子和微機(jī)械集成為一個(gè)整體,能

在一塊芯片上制作更復(fù)雜及功效更強(qiáng)的電路。這種技術(shù)從根本上把電腦芯片(處理數(shù)據(jù))和傳感器(收集數(shù)據(jù))結(jié)合到

一個(gè)元件上,可以批量生產(chǎn),這種芯片的潛在用途不可限量,氙氣蝕刻工藝就由一些半導(dǎo)體制造商用于生產(chǎn)這種超級(jí)芯

片.


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