這是六氟化硫在工作和生產(chǎn)過程中產(chǎn)生有毒物質(zhì)的一個條件，這些有毒物質(zhì)不得滲透到水中。如果六氟化硫氣體含有的水分超過規(guī)定，當(dāng)其濕度發(fā)生變化時，它可以凝結(jié)在固體絕緣表面上，使表面濕潤，然后設(shè)備的表面放電電壓會顯著下降。

如果沒有水分子，六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解產(chǎn)生的低氟復(fù)合氣體不會產(chǎn)生SO2、HF等有害物質(zhì)，以避免它們引起設(shè)備腐蝕。因此，在填充六氟化硫時，必須采取嚴(yán)格措施防止水分進(jìn)入設(shè)備。

開工前，必須確定施工現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣的相對濕度。≤80%（即空氣中的水蒸氣與飽和水蒸氣在相同溫度下的密度比的百分比），這是含有水的六氟化硫氣體的具體指示。如果測量不合格，采取行動或重新選擇干燥晴朗的天氣進(jìn)行填充。

為了及時排放和更換SF6泄漏氣體，必須在主端充滿時啟動風(fēng)扇，空氣中的SF6含量不得超過1000ppm。檢查應(yīng)在工作開始后的一段時間內(nèi)進(jìn)行，在適當(dāng)情況下，檢查應(yīng)在在中間進(jìn)行。如果六氟化硫氣體含量增加或超過標(biāo)準(zhǔn)，必須立即徹底檢查部件，以確定并消除原因。