自 20 世紀(jì) 20 年代發(fā)現(xiàn)以來,四氟化碳 (CF4)憑借其獨(dú)特的特性得到了廣泛的用途。以下是這種無機(jī)化
合物的一些主要應(yīng)用:
電氣絕緣 - CF4 具有高介電強(qiáng)度,非常適合變壓器和斷路器等高壓電氣設(shè)備的絕緣。它能抵抗電弧并具
有出色的冷卻能力。
鋁生產(chǎn) - CF4 用于穩(wěn)定鋁冶煉槽中的碳陽極。通過形成氟化物保護(hù)層,可以延長必須承受高溫的陽極的
使用壽命。
半導(dǎo)體蝕刻 - 半導(dǎo)體行業(yè)在芯片制造過程中嚴(yán)重依賴 CF4 對硅晶圓進(jìn)行干法蝕刻。 CF4 產(chǎn)生反應(yīng)性氟
自由基,非常適合各向異性蝕刻。
痕量氣體檢測 - 電子捕獲檢測等超靈敏技術(shù)使用 CF4 來檢測濃度極低的化合物。 CF4 捕獲微量帶負(fù)電
的分析物。
宇宙射線探測 - CF4 填充的時(shí)間投影室能夠探測中微子和其他宇宙射線。CF4 氣體分子捕獲相互作用
射線留下的電離痕跡。
從變壓器中的惰性氣體到超靈敏的實(shí)驗(yàn)室示蹤劑,四氟化碳以多種生產(chǎn)方式利用其惰性、介電特性和
高氟含量。然而,其對全球變暖的影響要求對其使用進(jìn)行負(fù)責(zé)任的管理。
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