四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體?？諝庵胁蝗紵潜容^穩(wěn)定的無毒物質。但

是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰

基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。四

氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅

玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術、氣相絕緣、低

溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于它的

化學穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料

行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。

4. 氣瓶內的氣體不能全部用盡，應該留不小于0.04MPa剩余壓力。

四氟化碳 CF4 華中地區(qū)生產(chǎn)供應商武漢紐瑞德特種氣體公司供應高純四氟化碳氣體，貨源充足，武

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