在電子器件生產(chǎn)工藝中.廣泛使用了各種高純氣體.按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣.
用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)?、氧氣及其混合氣.在國?nèi)為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取.這種方法需用大量電能來電解水,一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高.
為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應(yīng)用各種混合氣.其中,以應(yīng)用氮-氫混合氣為最多.國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠旌蠚猓?也有采用液氮分解法獲得氮?dú)浠旌蠚獾模?/p>
用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法,由于采用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均較高. 國外,由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高,使用單位多采用這種方法獲得混合氣. 國內(nèi)若從專業(yè)廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍.由液氨分解獲得的氮氧混合氣,由于液氮來源不同,大多數(shù)質(zhì)量較差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì).此外,液氮多來源于化肥廠,目前,供應(yīng)上較緊張,故成本也較高.
氮?dú)浠旌蠚獠粌H可在生產(chǎn)電子器件時(shí)取代氧氣用作保護(hù)氣,還可廣泛用于冶金、化工、機(jī)械等行業(yè). 一旦廣泛推廣應(yīng)用,必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益.
一、氫氮混合配氣工作原理;
本裝置以含氫75%、氮25%的氫氮混合氣為原料,通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié),加入純氮?dú)庵?,獲得穩(wěn)定的具有一定比例的氫氮混合氣。在按需調(diào)準(zhǔn)。
二、氫氮混合配氣設(shè)備主要組成及功能;
1、調(diào)節(jié)閥;
2、氫分儀;
3、智能顯示調(diào)節(jié)儀;
4、電氣轉(zhuǎn)換器;
5、過濾減壓器;
6、混合罐;
7、配比流量計(jì)
三、氫氮混合配氣工藝流程;
原氫氮混合氣經(jīng)閥,調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)加入純氮?dú)庵?,配比氣?jīng)混合罐混合,混合后的配比氣經(jīng)氫分儀分析,顯示氫的百分比含量,氫分儀把氫的百分比含量轉(zhuǎn)換成4-20mA的電流信號(hào),智能顯示調(diào)節(jié)儀把氫分儀的電流信號(hào)與設(shè)定值相比較計(jì)算,計(jì)算結(jié)果轉(zhuǎn)換成4-20mA的電流信號(hào)驅(qū)動(dòng)電氣轉(zhuǎn)換器,轉(zhuǎn)換成氣壓信號(hào),調(diào)節(jié)閥閥芯的行程和氣壓信號(hào)成正比,從而達(dá)到調(diào)節(jié)混合比例的功能。