六氟化硫的其他用途。
另外，在鎂合金的溶解中，六氟化硫氣體或六氟化硫和氮的混合物經(jīng)常被用作保護(hù)氣體。目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。

六氟化硫通常在tft - lcd面板工廠和其他微電子產(chǎn)業(yè)中作為清潔氣體和蝕本氣體使用。六氟化硫在光導(dǎo)纖維的生產(chǎn)過程中，經(jīng)常被用作單膜纖維絕緣層的摻雜物。

六氟化硫通常在大氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)學(xué)調(diào)查領(lǐng)域作為指示劑使用。六氟化硫無毒、安全、性能穩(wěn)定、檢測方法可靠、在空氣和水中的含量低，因此常被用作氣體示蹤劑。六氟化硫的消失距離可達(dá)100公里。