通常，高純度六氟化硫是無色、無味、無臭、無毒的不可燃?xì)怏w，分子量為146.06，密度為6.139g/l，約為空氣的五倍。它是已知的具有良好化學(xué)穩(wěn)定性的物質(zhì)之一，其慣性類似于氮。它具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性，在純狀態(tài)下即使超過500℃也不會(huì)分解。

高純度六氟化硫具有電絕緣和滅弧特性。在相同條件下，其絕緣容量是空氣和氮?dú)獾?.5倍以上，滅弧容量是空氣的100倍。六氟化硫的熔點(diǎn)為六氟化硫大小，在45-0℃的溫度范圍內(nèi)可作為特殊制冷劑。由于其良好的耐熱性，它是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。由于上述和其他優(yōu)異的性能，六氟化硫近年來已用于能源、電子、電氣工業(yè)、激光、醫(yī)療、氣象、寒冷、消防、化工、軍事、航空航天、有色金屬冶金、物理研究等領(lǐng)域。已被廣泛使用。

六氟化硫具有良好的絕緣性能和滅弧性能，如斷路器、高壓變壓器、氣體封閉組合電容器、高壓輸電線路、變壓器等。電子高純度六氟化硫是微電子技術(shù)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的理想電子蝕刻劑。作為制冷劑，制冷行業(yè)的制冷范圍可以在-45℃到0℃之間。電氣行業(yè)使用其高介電強(qiáng)度和良好的滅弧性能作為高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。

采礦業(yè)使用六氟化鈣硫作為反向吸附劑，以取代煤塵中的氧氣。高純度SF6由于其化學(xué)惰性、無毒、不易燃、無腐蝕性，也廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如鎂合金熔煉爐屏氣）、航空航天、醫(yī)藥（X光機(jī)、激光機(jī)）、氣象（示蹤分析）、化工（汽車輪胎、新型滅火器）等領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，SF6在越來越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。