甲烷-13C同位素氣體在半導(dǎo)體研究中的重要應(yīng)用
同位素氣體甲烷-13C,又稱碳-13C,是一種穩(wěn)定的同位素。常用CH4-13C表示。
在半導(dǎo)體研究、軍事、照明、基礎(chǔ)物理研究等領(lǐng)域,甲烷-13C也得到廣泛應(yīng)用。
半導(dǎo)體研究中甲烷-13C的作用主要是碳源和氫源,用于合成碳化物膜和氫化物膜。
甲烷-13C可作為半導(dǎo)體研究中的碳源,通過化學(xué)氣相沉積(CVD)將碳原子引入硅
基材料,制備碳化硅基材料(SiC)等碳化物薄膜。
該碳化膜具有導(dǎo)熱性能高、硬度高、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),因而在半導(dǎo)體器件中
具有廣闊的應(yīng)用前景。
另外,甲烷-13C也可作為氫源,通過反應(yīng)產(chǎn)生氮化膜(如Si3N4)等氫化膜。
這類氫化膜具有優(yōu)良的物理化學(xué)性能,如高硬度、高熔點(diǎn)、化學(xué)穩(wěn)定等,因此在
半導(dǎo)體器件中也具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
綜上所述,甲烷-13C作為一種重要的碳源和氫源,在半導(dǎo)體研究中具有重要的應(yīng)
用價(jià)值。
半導(dǎo)體研究中甲烷-13C同位素氣體的應(yīng)用
除半導(dǎo)體研究外,甲烷碳13同位素氣體在其它領(lǐng)域也發(fā)揮著巨大的作用。
在生物學(xué)中,甲烷-13C具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。
這類物質(zhì)逐漸取代放射性試劑,在臨床醫(yī)學(xué)疾病診斷中發(fā)揮著越來越重要的作用,
受到國(guó)內(nèi)外醫(yī)療行業(yè)的青睞。
甲烷-13C可以作為核物理領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)燃料、標(biāo)準(zhǔn)氣體、校正氣體等熱值測(cè)試。
甲烷-13C可用于研究植物生理生化、土壤及植物營(yíng)養(yǎng)、植物保護(hù)等方面的研究,
也可用于作物改良和草氮循環(huán)。
在分子結(jié)構(gòu)、代謝組學(xué)、蛋白質(zhì)組學(xué)等領(lǐng)域也可以使用甲烷-13C同位素氣體。
大氣甲烷碳同位素值可以用來區(qū)分不同來源的甲烷,有助于識(shí)別大氣甲烷污染源,
對(duì)于制定和實(shí)施減排政策具有重要意義。例如,δ負(fù)13C值的甲烷通常來自生物源
,例如濕地和反芻動(dòng)物的消化過程,而負(fù)13C值的甲烷通常來自生物源δ一般來說,
13C值較正的甲烷來自開采天然氣、煤礦等非生物源。
這類物質(zhì)逐漸取代放射性試劑,在臨床醫(yī)學(xué)疾病診斷中發(fā)揮著越來越重要的作用,
受到國(guó)內(nèi)外醫(yī)療行業(yè)的青睞。
化學(xué)合成或自然提取可獲得甲烷-13C同位素氣體。
甲烷-13C可在高溫高壓條件下對(duì)13CO2和H2進(jìn)行合成,從而實(shí)現(xiàn)化學(xué)合成。
甲烷-13C的自然放射性可以用于自然提取,并且可以用專用儀器進(jìn)行檢測(cè)和提取。
同位素氣體供應(yīng)商,武漢紐瑞德氣體公司致力于同位素氣體和試劑的穩(wěn)定運(yùn)行,
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