首先,因為氦的外層電子是2,氦只有一層電子,第一層電子是2,這意味著獲得了穩(wěn)定的結構,因此氦的化學性質相對穩(wěn)定,不容易反應和爆炸。氦在一些有價值的設備中用作檢測氣體,如飛機和航天器。然而,氦在自然界的儲量很少,價格也相對昂貴。因此,為了節(jié)約成本,一些公司選擇氫氣和氮氣的混合物作為檢漏氣體或直接使用氮氣作為檢漏氣體。
半導體中的氦泄漏檢測
為了防止半導體器件、集成電路和其他組件的表面因廢水和蒸汽等雜質而性能下降,外殼必須密封。但由于各種原因,管殼或引線接頭的密封部位經常出現肉眼難以發(fā)現的小孔。因此,一旦包裝好組件,就必須采取一些方法來檢測這些小孔的存在。氦檢漏就是用氦來檢查電子元件包裝上的小孔。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿過小孔進入管殼內部。因此,這種檢測方法可以檢測到非常小的小孔(也就是說,它可以檢測到漏氣量約為10?11~10?12 cm3/sec的小孔)。靈敏度與檢測放射性泄漏的方法相當,但比檢測放射性泄漏的方法簡單。
氦氣檢漏方法:首先將封裝好的組件放在充滿
氦氣的容器中,按壓,讓氦氣通過小孔進入管殼;然后取出,用壓縮空氣吹凈管殼表面殘留的氦氣;然后使用質譜儀檢測管殼表面的氦泄漏。