氦氣是理想的泄漏檢測(cè)氣體
首先,因?yàn)楹さ淖钔鈱与娮邮?,而氦只有一層電子,第一層電子是2。這意味著已經(jīng)達(dá)到了穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。因此,氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)穩(wěn)定,不容易反應(yīng)、爆炸等。在一些更有價(jià)值的設(shè)備中,如飛機(jī)、航天器等,我更喜歡使用氦氣作為泄漏檢測(cè)氣體。然而,氦在自然界中的儲(chǔ)量較少,成本較高。因此,為了節(jié)省成本,一些公司還選擇氫氣和氮?dú)獾幕旌衔镒鳛闄z漏氣體,或者直接選擇氮?dú)庾鳛闄z漏氣體。
氦泄漏檢測(cè)在半導(dǎo)體中的作用
為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路和其他部件的表面性能因水蒸氣等雜質(zhì)而惡化,有必要使用外殼密封。然而,由于各種原因,在管和外殼或探針的連接處通常會(huì)有肉眼難以識(shí)別的小孔。因此,在封裝部件之后,需要一些方法來檢測(cè)這些小孔的存在或不存在。氦泄漏檢測(cè)包括使用氦來檢查電子元件封裝管殼中的小孔。由于氦原子的體積很小,它們很容易穿過管殼上的小孔。這種檢測(cè)方法可以檢測(cè)漏氣率約為10-11至10-12cm3/sec的小孔,其靈敏度可以與放射性泄漏檢測(cè)方法相媲美,但比放射性泄漏檢測(cè)法更簡(jiǎn)單。氦氣泄漏檢測(cè)測(cè)試方法:首先,將封裝好的部件放入充氦容器中,加壓,使
氦氣通過小孔進(jìn)入管殼;然后提取出來,用壓縮空氣吹出管殼表面殘留的氦氣;然后,使用質(zhì)譜儀來檢測(cè)氦泄漏到管殼外部。