無論是計量用的標準氣體還是電子混合氣體,準確性是第一要素。如何確保氣體準確、穩(wěn)定,是我們迫切需要關注和解決的問題。因為氣瓶廠只能依賴于標氣公司做配氣、分析等效果考察工作,或許Cl2 10 x 10-6-N2 處理接果不錯,而Cl2 5 ×10 6_N2 就不滿意了,所以,此項工作類似于雜交水稻的培育,需要長期不間斷地考察研究,最好是多部門的聯(lián)合攻關作戰(zhàn)。若沒有國家的資金支持,目前的背景下,完成此項意義重大、經(jīng)濟效益不突出的研究,真的有存在的可能性?可見氣瓶的穩(wěn)定性問題將長期困擾中國氣體的進步與發(fā)展。
對于盛裝電子混合氣體的氣瓶,內(nèi)表面決不能采用高分子材料處理。根據(jù)研究驗證,無論何種高分子材料,都有一定量的有提物釋放,這些碳氫化合是IC制造“有害”雜質(zhì)尤其是在夏季,釋放會加劇。目前國內(nèi)許多事舊氣瓶,由于內(nèi)表的處理沒有清晰的標識,若再使用充裝類似 N02 等強氧化氣體,應引起注意,否則會出現(xiàn)嚴重的安全方面的事故。
此外,原科氣體的純度也是影響輯掘氣體準效的鼓要因素。目前市場競爭十分激烈,對于液化壓縮氣體,由于存在氣液兩相,組分尤其是較輕的組分,會隨溫度的變化而變化,應經(jīng)常測定其濃度。必要時使用前多次置換吹掃系統(tǒng),達到降低輕組分含量的目的,如高純、C02 氣體長期不用,若質(zhì)量不好,氣相中CH4 、N2、02 、CO含量飆升,可以通過小流量的放空處理解決,而對于較重的組分,建議留10%-20%的瓶底
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