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硅烷制備多晶硅技術(shù)

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2018-12-14 14:12:00【

伴隨著能源危機的不斷加劇,國家關(guān)于清潔動力的展開越來越重視,光伏工業(yè)作為清潔動力的代表之一,敏捷占領(lǐng)市場并廣受好評。跟著全球光伏商場的爆發(fā)性增長,作為光伏原料的多晶硅市場也是車水馬龍,而多晶硅制備技術(shù)也在不斷推陳出新,其中,改善西門子法、硅烷法、流化床法是市場應用最多的辦法。

現(xiàn)在來說,成功完成多晶硅商業(yè)化出產(chǎn)的流化床裝置都采用了硅烷流化床,其原料為硅烷氫氣。硅烷易與其他氯硅烷別離,本身分化溫度低,分化率高,副反應少,這就賦予了硅烷流化床法很大的優(yōu)勢:精餾、尾氣處理工序簡單,能耗和單體出資都能大大降低,反應轉(zhuǎn)化率挨近100%,流化床電耗僅為改善西門子法的10%~20%。別的,由于反應徹底,副反應少,整個反應系統(tǒng)可以做到徹底閉路循環(huán)。

流化床法一般是以硅烷或氯硅烷作為硅源氣、以氫氣作為載氣,在流化床反應器內(nèi)預先放置的硅籽晶上發(fā)生氣相堆積反應。跟著出產(chǎn)進行,從流化床底部不斷排出長大的顆粒硅產(chǎn)品,一同從頂部添加適量的硅籽晶。

我們知道,多晶硅按純度要求分為金屬級、電子級(EG)和太陽能級(SOG),特別是關(guān)于電子級而言,要求多晶硅的純度在11N。這就對多晶硅出產(chǎn)辦法的產(chǎn)品純度提出了難題。

由于關(guān)于產(chǎn)品純度的苛刻要求,流化床法出產(chǎn)進程比其他流態(tài)化進程更為復雜,對裝備制作也提出了更高的要求。

在反應進程中,硅烷氣進入流化床后會敏捷分化,一部分發(fā)生異相反應,堆積至硅顆粒外表;另一部分發(fā)生均相反應,生成氣相微核,該微核經(jīng)過一系列聚合長大進程生成硅粉,在此聚合進程中還有一定份額粘附到硅顆粒外表,成為顆粒硅產(chǎn)品的一部分。這個復雜的進程導致了顆粒硅出產(chǎn)中某些問題會無法防止。

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