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高純氣體 - 高純氫中微量烴污染的分析

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2022-09-21 14:45:00【

 高純氫氣廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、石油化工、金屬冶煉、國防、科研等部門,也可用作制備標(biāo)準(zhǔn)氣的原料氣和色譜用載氣。隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,科學(xué)實驗和工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn),特別是一些高科技產(chǎn)品,如超大集成電路和光電子產(chǎn)品,要求嚴(yán)格控制氫純度和雜質(zhì)含量,并要求凈化O2、H2O、,HTC(總烴)、CO、CO2等雜質(zhì)至10-9-10-12;在有色金屬的熔煉和加工中,硅鋼、帶鋼、精密合金和浮法玻璃的生產(chǎn)需要純度為99.999%的氫氣;在天然氣工業(yè)中,氣體分析和氣體精煉需要純氫。目前,工業(yè)生產(chǎn)的大部分工業(yè)氫應(yīng)進行凈化,以滿足生活各個領(lǐng)域的需要。氫氣凈化方法主要有化學(xué)吸收法、催化反應(yīng)法、選擇性吸附法和膜分離法。

1、總烴測定原理及定量方法

在分析和檢測氣相色譜時,氣相色譜對所用氣體的純度有很高的要求。為了滿足工作要求和延長設(shè)備使用壽命,所用氣體的純度應(yīng)滿足或略高于儀器本身對氣體純度的要求;否則,如果使用不合格的低純度氣體,會造成一些負面影響。此外,在硅外延中,氫與加熱硅襯底表面上的四氯化硅或三氯氫硅反應(yīng),以還原硅并將其沉積在硅襯底上,從而形成外延層。在上述工藝中,氫的純度要求很高。如果存在太多碳氫化合物,就會產(chǎn)生碳化硅,導(dǎo)致外延層中出現(xiàn)星形缺陷。因此,有必要監(jiān)測高純度氫中的整個碳氫化合物。

1.方法和原則

中國國家標(biāo)準(zhǔn)推薦的氣體中總氫的測定方法是目前大多數(shù)實驗室采用的氫火焰電離法。這種方法的工作原理是:樣品進入電離室后,在氫火焰的高溫下電離產(chǎn)生陽離子。由于離子的數(shù)量與被測成分的含量成正比,因此可以確定其含量。工作站(或記錄器)記錄相應(yīng)成分的色譜峰。

2.定量方法

火焰離子化檢測器上總烴的響應(yīng)信號是不同信號的總和。迄今為止,除了食品級二氧化碳的國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定總碳氫化合物是從甲烷中計算出來的外,沒有一個單一的標(biāo)準(zhǔn)來量化其他氣體中的總碳氫化合物。這里,甲烷也被用作參考材料,分析結(jié)果是用甲烷計算的。

氫是一種可燃壓縮氣體。儲存在涼爽通風(fēng)的倉庫中。倉庫內(nèi)溫度不得超過30℃。遠離火種和熱源。避免陽光直射。必須與氧氣、壓縮空氣、鹵素(氟、氯、溴)、氧化劑等分離。存儲儲藏室的照明、通風(fēng)等設(shè)備應(yīng)為防爆型,開關(guān)應(yīng)在儲藏區(qū)外調(diào)整,并配備適當(dāng)類型和數(shù)量的滅火器。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械裝置和工具。驗收時,注意產(chǎn)品名稱、瓶子檢驗日期和倉庫中使用的第一。小心搬運,以免損壞氣瓶和附件。

 

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