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高純電子級(jí)氣體下游應(yīng)用都有哪些?

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-12-30 09:40:00【

 在工業(yè)中,常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的原料,在經(jīng)濟(jì)中發(fā)揮著重要作用。

根據(jù)不同的處理工藝和應(yīng)用領(lǐng)域,它可以分為散裝氣體和特殊氣體。散裝氣體主要包括空氣分離氣體,如氧氣、氮?dú)夂蜌鍤猓约昂铣蓺怏w,如乙炔和二氧化碳。氣體純度要求不高,主要用于冶金、石化、煤化工和鋼鐵。特殊氣體有很多種,主要包括高純度氣體、混合氣體等。,主要用于電子、光伏和醫(yī)療等新興行業(yè)。用于制造半導(dǎo)體的電子氣體屬于特殊氣體。

 


作為特種氣體的一個(gè)重要分支,用于替代大型電子產(chǎn)品的國(guó)內(nèi)特種氣體(以下簡(jiǎn)稱特種電子氣體)是集成電路(IC)、顯示板(LCD、OLED)、光伏能源、玻璃纖維和電纜等電子工業(yè)制造中不可或缺的關(guān)鍵原材料。它們廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。它們的質(zhì)量對(duì)電子元件的性能有重要影響。在中國(guó),高純度電子質(zhì)量氣體主要用于集成電路、顯示板、LED和太陽(yáng)能領(lǐng)域。其中,集成電路和記分板對(duì)電子氣體的需求占下游總需求的79%。