新浪微博|騰訊微博|收藏本站|網(wǎng)站地圖歡迎光臨武漢紐瑞德特種氣體有限公司!

氦氣,氖氣,六氟化硫等特種氣體,紐瑞德專業(yè)!中國特種氣體供應(yīng)首選品牌
23年資深專家創(chuàng)辦  國家科研單位指定供應(yīng)商

全國服務(wù)熱線:4006277838
紐瑞德感謝客戶對其大力支持
當前位置:首頁 » 紐瑞德資訊 » 氣體指南 » 電子特氣——集成電路發(fā)展支撐材料

電子特氣——集成電路發(fā)展支撐材料

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2023-08-21 10:23:19【
電子特氣——集成電路發(fā)展支撐材料

氣瓶


電子特氣是電子工業(yè)的關(guān)鍵原料,是名副其實的電子工業(yè)“血液”,貫穿著半導體

各步工藝制程。它的純度和潔凈度直接會影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、

性能、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確

性和準確性。



狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業(yè)用的特種氣體,據(jù)統(tǒng)計,目前常用的電

子氣體純氣有60多種,混合氣80多種,按其門類可分為純氣,高純氣和半導體

特殊材料氣體三大類。主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、外延生長、

離子注入、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。電子氣體對于半導體集成電路芯片

的質(zhì)量和性能具有重要意義。



隨著半導體集成電路技術(shù)的發(fā)展,對電子氣體的純度和質(zhì)量要求越來越高,電

子氣體目前發(fā)展目標是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國產(chǎn)化率,并向完成 對特氣

生產(chǎn)及應(yīng)用的全套技術(shù)開發(fā)的目標努力,技術(shù)包括:高危、易燃易爆、腐蝕性、

劇毒氣體純化、監(jiān)測、充裝、輸送、貯存技術(shù),以及安全、環(huán)保技術(shù)、現(xiàn)場配

氣技術(shù)、回收與再利用技術(shù)等。



半導體電子特氣行業(yè)上個月較高的技術(shù)壁壘。半導體電子特種氣體在生產(chǎn)過程

中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù),

每一步均有嚴格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。



電子特種氣體的合格性十分的重要,特氣若不合格輕則導致產(chǎn)品嚴重缺陷,重

則導致整條生產(chǎn)線被污染及至全面癱瘓,其純度要求極高,純化、雜質(zhì)檢測、

儲運技術(shù)面臨全方位考驗。因此,集成電路技能快速發(fā)展,對電子氣體的種類、

數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)性等方面均提出了更高的要求。