電子氣體品質(zhì)關(guān)乎半導(dǎo)體器件性能提升
在集成電路、平面顯示設(shè)備、太陽能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié),從芯片生產(chǎn)到最終設(shè)備
包裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體堪稱電子制造的
“血液”。電子氣體成本僅占IC材料總成本的5%-6%,但即使某一特定雜質(zhì)超標(biāo),也
可能導(dǎo)致產(chǎn)品嚴(yán)重缺陷,甚至因不合格氣體的擴(kuò)散而污染或報廢整個生產(chǎn)線。因此
,電子氣體的質(zhì)量在很大程度上決定了半導(dǎo)體設(shè)備的性能。每次電子氣體純度提高
一個數(shù)量級,都會極大地促進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備質(zhì)量的飛躍。
影響電子氣體純度和質(zhì)量的主要因素包括:氣體生產(chǎn)和充裝、氣體混合和雜質(zhì)監(jiān)測
,以及氣體的運(yùn)輸和儲存。
氣體的生產(chǎn)和充裝
電子氣體生產(chǎn)存在許多瓶頸,從原材料純度到合成過程、溫度和壓力控制,再到凈
化方法和分析方法,以及產(chǎn)品充裝過程中雜質(zhì)的控制,每個環(huán)節(jié)都會影響整個產(chǎn)品
的質(zhì)量。
氣體混合和雜質(zhì)監(jiān)測
對于混合氣體,比例的精度是核心參數(shù)。隨著產(chǎn)品成分的增加和制備精度的提高,
客戶經(jīng)常要求氣體供應(yīng)商對各種PPM甚至PPB濃度的氣體成分進(jìn)行精細(xì)操作,制備
過程的難度和復(fù)雜性也顯著增加。此外,氣體分析檢測和雜質(zhì)監(jiān)測也提出了更高的
技術(shù)要求。
氣體的運(yùn)輸和儲存
在儲運(yùn)過程中,電子氣體需要用優(yōu)質(zhì)的氣體包裝儲運(yùn)容器,以及相應(yīng)的氣體輸送管
道、閥門和接口,以避免二次污染。
電子特種氣體,包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁
烷、甲烷等氣體。武漢紐瑞德特種氣體公司是一家專業(yè)的氣體公司,主要從事電子
特種氣體的生產(chǎn)和銷售。中國特種氣體一站式供應(yīng)商,品類齊全,庫存大,現(xiàn)貨供
應(yīng),可提供超純電子氣體。各種電子氣體出口到福建、上海、重慶、杭州等地。歡
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