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電子級氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些?

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2023-08-30 10:18:16【
電子級氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些?

氣瓶


我們都知道電子氣體是危險的。電子氣體的未來發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)?


1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格:隨著電子消費品的升級,產(chǎn)

品的制造規(guī)模越來越大,對產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來越嚴(yán)格。整

個電子工業(yè)對電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越

來越嚴(yán)格。原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)

與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的

激光顆粒測試儀可以測量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到

0.01μm。



2、流量大,輸送連續(xù)穩(wěn)定:電子氣傾向于集中供應(yīng),特殊氣體放在氣

室中。根據(jù)機器的流量要求合理配置輸送系統(tǒng)的數(shù)量。專用輸氣設(shè)備必

須采用全自動切換供氣,并設(shè)計更多備用設(shè)備。對于低蒸氣壓氣體

(WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等),有必要進(jìn)行氣缸加熱、氣板

加熱、管道跟蹤等。高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在

空氣源的末端。機器的氣體消耗點也配有質(zhì)量流量計。



3.安全性越來越嚴(yán)格:電子氣體可能具有窒息性、腐蝕性、毒性、易燃

性、爆炸性等危害,其危害性已被不同國家、地區(qū)和行業(yè)組織詳細(xì)分類。

對于一家大規(guī)模生產(chǎn)的電子工廠來說,其使用和儲存的電子氣體數(shù)量可

以毫不夸張地被視為“大規(guī)模殺傷性武器庫”。規(guī)劃、施工和日常運營中

的任何潛在安全風(fēng)險都會對工廠、人員和環(huán)境造成重大災(zāi)難。



4.建設(shè)成本日益下降:隨著電子行業(yè)投資規(guī)模的增加,縮短建設(shè)時間和

降低建設(shè)成本變得越來越重要。對于電子氣體傳輸系統(tǒng)來說,在不降低

系統(tǒng)污染水平和犧牲安全配置的情況下降低建設(shè)和運營成本也是一個挑戰(zhàn)。