電子級(jí)硅烷氣在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

電子硅烷氣主要用于半導(dǎo)體工業(yè)、顯示面板工業(yè)、光伏工業(yè)、負(fù)極材料等。
電子級(jí)硅烷氣（electronic grade silane）它是一種無色、非?；钴S的壓縮氣體，在空氣中自燃。

它被廣泛使用，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)中，電子硅烷氣體起著至關(guān)重要的作用。在半導(dǎo)體行業(yè)中，

電子硅烷氣體主要用于擴(kuò)展沉積晶硅膜和生產(chǎn)多晶硅膜、一氧化硅膜和氮化硅膜。此外，它還

用于制作高純多晶硅、二氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同

質(zhì)硅擴(kuò)展生長(zhǎng)原料，以及離子注入源和激光介質(zhì)。在光伏行業(yè)中，電子硅烷氣體作用于光伏電

池生產(chǎn)減反射膜，對(duì)光伏電池的光吸收效率和電性能有重大影響。電子硅烷氣體在顯示面板行

業(yè)和負(fù)極材料領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用。

電子硅烷氣的純度一般在6N以上(99.9999%)，具有純度高、無污染、對(duì)設(shè)備無腐蝕、控制精細(xì)

等優(yōu)點(diǎn)，已成為其他硅源氣體無法替代的重要特種氣體。它不僅用于大型或超大型集成電路、

芯片等電子行業(yè)，還用于液晶顯示器行業(yè)、薄膜太陽能電池行業(yè)、半導(dǎo)體LED照明行業(yè)和低輻

射（Low-E）鍍膜玻璃等領(lǐng)域。

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