水分是六氟化硫設(shè)備產(chǎn)生有毒物質(zhì)的條件。如果六氟化硫氣體的含水量超過規(guī)定的含水量，當(dāng)其含水量發(fā)生變化時(shí)，它可以在固體絕緣表面上冷凝，使表面濕潤，然后設(shè)備的表面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解產(chǎn)生的低氟復(fù)合氣體不產(chǎn)生SO2、HF和其他有害物質(zhì)，無需水分子的外部狀態(tài)，以避免其引起的設(shè)備腐蝕。因此，當(dāng)向設(shè)備中注入六氟化硫氣體時(shí)，必須采取嚴(yán)格措施防止?jié)駳膺M(jìn)入。

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（1） 開始工作前，首先測量周圍空氣的相對濕度≤80%（即在相同溫度下空氣中的水蒸汽密度與飽和水蒸汽密度之比的百分比），這是空氣中水分含量限制的具體指示。如果試驗(yàn)不合格，應(yīng)采取措施或重新選擇干燥晴朗的天氣進(jìn)行填充。

（2） 為了及時(shí)排放和更換SF6泄漏氣體，必須在主尖端充滿時(shí)打開風(fēng)扇，并且必須仔細(xì)遵守空氣中SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。檢查應(yīng)在工程開始后的一段時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，橫向檢查應(yīng)根據(jù)具體情況在路徑中間進(jìn)行。如果SF6氣體含量增加或超過標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)立即詳細(xì)檢查部件，以找出并消除原因。