電子氣體是指用于制造半導(dǎo)體、平板屏幕、發(fā)光二極管、太陽能電池等電子產(chǎn)品的基本原材料。廣泛用于清潔、蝕刻、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用包括電子工業(yè)、太陽能電池、移動通信、汽車導(dǎo)航和汽車音頻和視頻系統(tǒng)、航空航天等許多領(lǐng)域?；谕顿Y規(guī)模和產(chǎn)品質(zhì)量的不同實際要求，行業(yè)內(nèi)對電子輸氣系統(tǒng)的要求基本上有三種類型。我們之前與您共享了一個大型供氣系統(tǒng)，然后與您共享一個常規(guī)供氣系統(tǒng)和一個簡單供氣系統(tǒng)。

常規(guī)供氣系統(tǒng)

傳統(tǒng)供氣系統(tǒng)主要用于4-6英寸大型集成電路系統(tǒng)、50MW以下太陽能電池生產(chǎn)線、LED芯片工藝線等中等耗氣電子行業(yè)。他們的投資規(guī)模中等。該生產(chǎn)線可作為設(shè)備使用?？刂茪怏w純度的要求并不嚴(yán)格。在滿足安全要求的情況下，系統(tǒng)配置盡可能簡單，以節(jié)省投資。

常規(guī)氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的大部分普通大型氣體由現(xiàn)場液體儲存（LIN、LOX、LAR）或集束供應(yīng)。氣體通過管道系統(tǒng)輸送至工廠，氣體直接通過三通輸送至氣體消耗點。

特殊氣體由普通鋼瓶（<50L）供應(yīng)。特殊輸氣系統(tǒng)采用氣瓶柜。配有自動PLC控制和彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換、自動氮氣沖洗和自動真空輔助排氣；多種安全措施，泄漏檢測，遠(yuǎn)程緊急停機(jī)；氮氣沖洗的來源等。VMB采用雙氣動閥、氮氣沖洗和真空輔助抽空。惰性氣體采用半自動氣罐、繼電器控制、自動切換、手動沖洗、手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣沖洗；分流閥、氮氣沖洗、真空輔助排氣。氣室和排氣系統(tǒng)根據(jù)氣體類型進(jìn)行分類。

輕松供氣

簡易供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體芯片工廠和半導(dǎo)體材料研究所。它們的制造工藝簡單，通常不需要連續(xù)供氣，供氣系統(tǒng)的投資預(yù)算低，生產(chǎn)和管理人員缺乏安全意識。

由于氣體流量低，通常使用普通鋼瓶（<50L）作為特殊氣源。半自動氣瓶柜或氣瓶車主要用于輸送系統(tǒng)，配有繼電器控制、自動切換、手動沖洗、手動排氣和有害氣體緊急切斷閥。惰性氣體瓶架采用全手動系統(tǒng)，有些甚至使用單瓶系統(tǒng)。它共享一個氣室，甚至沒有氣室。特殊氣瓶和輸送系統(tǒng)有時放置在回風(fēng)管道中或工藝制造廠旁邊。共用一個排氣系統(tǒng)。該系統(tǒng)通常具有潛在的安全風(fēng)險。