六氟化硫氣體是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃、無(wú)腐蝕的惰性氣態(tài)物質(zhì)，廣泛應(yīng)用于電導(dǎo)設(shè)備系列，如電源開(kāi)關(guān)、封閉式電容器組、變壓器、高功率電纜、互導(dǎo)傳感器、避雷針等等。并且，六氟化硫氣體的功效還活躍于粒子加速器、X射線、示蹤分析和非金屬助熔等領(lǐng)域。在人類生產(chǎn)生活的過(guò)程中，產(chǎn)生了大量的SF6氣體。然而六氟化硫氣體是一種溫室氣體，大量排放該氣體勢(shì)必導(dǎo)致環(huán)境變暖。那么減少六氟化硫排放，將含有六氟化硫的尾氣轉(zhuǎn)化也就是成為課題。今天紐瑞德特氣小編月月為大家解說(shuō)微波電漿結(jié)合吸收劑轉(zhuǎn)化六氟化硫。

  結(jié)合微波電漿火炬-添加劑-吸收劑系統(tǒng)，處理大流量及高濃度之溫室效應(yīng)氣體六氟化硫(SF6)，探討添加劑種類和進(jìn)流濃度、輸入功率、操作壓力、 SF6進(jìn)流濃度及總進(jìn)流流量對(duì)SF6轉(zhuǎn)化率及產(chǎn)物分佈之影響；并且以不同吸收劑探討對(duì)毒性副產(chǎn)物之去除效果。最后經(jīng)由光學(xué)發(fā)射光譜的量測(cè)，協(xié)助鑑定電漿中 主要活性物種之濃度變化，推論與轉(zhuǎn)化SF6之關(guān)系。

  結(jié)果顯示，添加劑及提高輸入功率均可提升SF6轉(zhuǎn)化率。對(duì)SF6(0.2%)/N2在接近常壓，1.6kW下，于H2/O2/SF6,H2O(g)/SF6,H2/SF6以及O2/SF6之進(jìn)流濃度比例分別為5/5/1,5/1, 5/1及5/1時(shí)，可達(dá)較佳之SF6轉(zhuǎn)化率，為51.0%,49.2%,48.9%及36.0%。除此之外，降低壓力、總進(jìn)流流量或SF6進(jìn)流濃度可明顯地提高SF6轉(zhuǎn)化率。但仍以處理較高壓力、流量及SF6進(jìn)流濃度之能量利用效率較佳。在產(chǎn)物方面，加入各種添加劑，其主要產(chǎn)物均為F2，以及少量的SiF4。添加H2會(huì)生成毒性的HF與硫沉積。添加O2產(chǎn)生SO2F2,SOF2,SOF4，以及微量的SO2及NOx。至于同時(shí)添加H2及O2，可抑制SO2F2, SOF2及SOF4之生成，以產(chǎn)出SO2為主，可達(dá)較高轉(zhuǎn)化率及較低毒性物質(zhì)生成之優(yōu)點(diǎn)。

  在700torr下，各種吸收劑對(duì)HF略有吸收效果，此外，降低壓力或SF6進(jìn)流濃度，各種吸收劑均可將HF降低至偵測(cè)極限以下，Ca(OH)2吸收劑對(duì) SO2F2及SOF2有較佳之吸收效果。光學(xué)發(fā)射光譜顯示，活性物種N2于電漿反應(yīng)中扮演重要角色，且活性物種H,N2及SF2之光強(qiáng)度與SF6氣體轉(zhuǎn)化率有明顯關(guān)連，可解釋H2/SF6進(jìn)流比例、功率和添加劑種類之影響。