氨氣和一氧化二氮都是常見(jiàn)的化學(xué)氣體。氨氣要用于生產(chǎn)硝酸、尿素和其他化學(xué)肥料，還可用作醫(yī)藥和農(nóng)藥的原料，也可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。而一氧化二氮?jiǎng)e名笑氣，“笑氣”的名稱(chēng)是由于吸入它會(huì)感到欣快，并能致人發(fā)笑。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及濃硫酸，但不與水反應(yīng)。它也可以用來(lái)作為火箭和賽車(chē)的氧化劑，以及增加發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出功率。一氧化二氮是強(qiáng)溫室氣體。科學(xué)家發(fā)現(xiàn)笑氣和氨氣能夠使鈦酸鈷及鈦酸鎳崩潰電場(chǎng)，從而發(fā)揮更大的潛力。下面就由紐瑞德特氣小編月月為大家解說(shuō)一下吧！

  利用氧化爐管合成的高介電常數(shù)材料鈦酸鈷及鈦酸鎳，其可被運(yùn)用在非揮發(fā)性記憶體元件、隨機(jī)存取記憶體、及金氧半場(chǎng)效電晶體閘及氧化層上。將其用來(lái)取代複晶硅氧化層時(shí)，我們可以提高偶合系數(shù)使得快閃記憶體的操作電壓可以降低，

  在實(shí)驗(yàn)中，學(xué)者證明高溫金屬氧化製程不會(huì)造成穿遂氧化層特性的劣化，并研究有關(guān)于鈦酸鈷及鈦酸鎳的物性，電性以及可靠度分析。我們首次將氧化前電漿處理及氧化后電漿處理的方式運(yùn)用在這兩個(gè)介電層的製造上。結(jié)果顯示經(jīng)由氨氣或一氧化二氮?dú)怏w高密度電漿化學(xué)氣相沉積做氧化前處理后，使得鈦酸鈷及鈦酸鎳崩潰電場(chǎng)，及可靠度方面具有較佳的表現(xiàn)，而氧化后處理的方式將使介電層的可靠度降低。經(jīng)過(guò)氧化前氨氣或一氧化二氮電漿處理製程后，將使得其更有潛力應(yīng)用在非揮發(fā)性記憶體複晶硅介電層中。

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