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我的中國(guó)“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過(guò)程中,電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟,都需要使用各種類型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體,摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體,如砷烷、磷烷等。更多 +
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磷烷PH3化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)MSDS
磷烷PH3化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)MSDS磷烷,磷烷氣體,磷烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,磷烷混合氣體 第一部 分化學(xué)品化學(xué)品中文名稱:磷烷msds化學(xué)品俗名或商品名:膦、磷化氫英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;phosphorus hydride; Phosphorus trihydride第二部分 成分/組成信息化學(xué)品名稱:磷烷化學(xué)式:PH3有害物成分:PH3濃度:99%度更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣鋁合金鋼瓶的特殊處理技術(shù)
A.標(biāo)準(zhǔn)氣鋼瓶的CL- 1 型特殊處理技術(shù) 該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)是內(nèi)表面涂覆光潔、憎水、耐蝕及化學(xué)惰性的涂層,具有很強(qiáng)的抗腐蝕和保持氣體純度的能力??捎糜诔溲b高品級(jí)電子氣體,如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氫、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等氣體,國(guó)內(nèi)首創(chuàng),達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平。該產(chǎn)品正逐步代替進(jìn)口特種鋼瓶,用于充裝國(guó)內(nèi)高品級(jí)特種氣體和出口用特種氣體。 合作方式:提供各種規(guī)格的特殊處理氣瓶。 B.標(biāo)準(zhǔn)氣鋁合金鋼瓶的CL-2型特殊處理技術(shù) &nbs更多 +
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2019年電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體的發(fā)展現(xiàn)狀
隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè),特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來(lái)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。 近年來(lái),隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),我國(guó)已有的特種氣體達(dá)260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場(chǎng)。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
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