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六氟化硫（SF6）是一種無色、無味、無毒的氣體，不可燃，微溶于水。六氟化硫是個極為惰性的氣體，不與水、鹽酸、氫氧化鈉和熔融的鈉作用，但會與金屬鋰反應(yīng)并放熱。六氟化硫的一氯代物（SF5Cl）可以用四氟化硫為原料制備，結(jié)構(gòu)與六氟化硫類似，但具強氧化性，很快水解生成硫酸鹽。
從有關(guān)部門的試驗及研究結(jié)果可知，六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。
1、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體在高溫電弧發(fā)生作用時而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。
2、六氟化硫產(chǎn)品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。
3、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
4、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
5、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。
SF6氣體的毒性主要來源于以下氣體：
1、氟化亞硫酰（ SOF2 ）
無色劇毒氣體，能侵襲肺部，引起肺組織急性水腫，影響氣體交換，使肺部缺氧充血而導致窒息性死亡，它有強烈的惡心臭味，可作為警告信號之用。白鼠和兔子的致死濃度為 10 × 10 -6 和 50 × 10 -6 （ V/V ）。
2、氟化硫酰（ SO2F2 ）
攣性化合物，無色無臭，在較高濃度下對肺組織有刺激作用，引起肺泡出血。白鼠和兔子的致死濃度為 200 × 10 -6 和 400 × 10 -6（ V/V ）。
3、四氟化硫（ SF4 ）
無色氣體，有類似 SO2的刺激性臭味，毒性與光氣相當，對肺有侵害作用。
4、二氟化硫（ SF2 ）
沸點 35 ℃，極不穩(wěn)定，受熱后更加活潑，易水解生成 S 、 O2 、 HF 等，其毒性于 HF 相當
5、氟化硫（ S2F2 ）
常溫下為無色氣體，具有很強的毒性，遇水后生成 HF ，對呼吸系統(tǒng)有類似光氣的破壞性作用。
6、氟化氫（ HF ）
無色氣體或液體，具有強烈的刺激性臭味，極易溶解于水，形成氫氟酸，對一般材料具有較強的腐蝕性。 HF 對皮膚、粘膜有強烈的刺激作用，并能引起肺水腫、肺炎等。
7、十氟化二硫（ S2F10 ）
常溫常壓下為無色易揮發(fā)液體，系劇毒物質(zhì)，毒性約為 SOF2 的 300 倍。S2F10主要侵襲肺住址，引起肺出血和肺水腫。白鼠的致死濃度為 1 × 10-6 （ V/V ）。
8、三氟化鋁（ AIF3 ）
白色粉末狀，通常吸附了大量的有毒氣態(tài)分解產(chǎn)物，故應(yīng)被視為具有強烈腐蝕性和毒性的物質(zhì)。 ALF3 粉塵可刺激皮膚引起皮疹，對呼吸系統(tǒng)及肺部均有侵襲作用。
9、十氟化二硫一氧（ S2F10O ）
劇毒物質(zhì)，對肺組織強烈侵襲作用。白鼠的致死濃度為 20 × 10-6 （ V/V ）。
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