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高純六氟化硫氣體的應(yīng)用
高純六氟化硫氣體是我國(guó)科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。更多 +
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四氟化碳?xì)怏w處理快閃記憶體的應(yīng)用你知道么
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。今天紐瑞德特氣小編月月為大家?guī)硎褂盟姆茧姖{處理三氧化鉬之電荷捕捉層在快閃記憶體的應(yīng)用介紹。更多 +
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