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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣、電子氣體等特種氣體國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)明顯

經(jīng)濟(jì)新常態(tài)下更加強(qiáng)調(diào)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級(jí)，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對(duì)中國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的貢獻(xiàn)率將愈加突出。特種氣體作為上述產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的關(guān)鍵性材料，其市場(chǎng)規(guī)模將保持持續(xù)高速發(fā)展。另外，由于在建國(guó)初期中國(guó)的工業(yè)化程度不高，中國(guó)在特種氣體技術(shù)儲(chǔ)備不足，隨著中國(guó)的技術(shù)進(jìn)步，國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)愈發(fā)加快。在特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)，單一高純氣體的需求是有限的，更多的是一些混合氣、特殊混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣。這類氣體種類繁雜，需求量大，占
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: 5G時(shí)代，鍺烷市場(chǎng)需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對(duì)整個(gè)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價(jià)值。5G時(shí)代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來(lái)滿足其對(duì)高性能和低功耗的要求。國(guó)家發(fā)改委《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃(2018-2020年)》曾對(duì)鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過(guò)具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來(lái)，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達(dá)百余種。日前，2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過(guò)科利德公司電子級(jí)一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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: 氙氣用于醫(yī)療麻醉是應(yīng)用了物理還是化學(xué)性質(zhì)？

醫(yī)療領(lǐng)域?yàn)殡瘹鈶?yīng)用提供了新的長(zhǎng)期潛在增長(zhǎng)。氙氣用于增強(qiáng)X射線、CAT掃描和MRI成像。單個(gè)MRI設(shè)備無(wú)法檢查人類肺部的許多細(xì)微結(jié)構(gòu)。然而，通過(guò)吸入氙氣/氧氣混合物，MRI掃描可以檢測(cè)出必要的軟組織精細(xì)結(jié)構(gòu)，從而幫助醫(yī)生對(duì)許多肺部疾病做出更準(zhǔn)確的診斷。倫敦皇家學(xué)院的科學(xué)家發(fā)現(xiàn)氙氣可以幫助保護(hù)受損的神經(jīng)細(xì)胞。近60年來(lái)，人們發(fā)現(xiàn)氙氣具有麻醉作用。作為一種麻醉劑，氙不會(huì)與各種手術(shù)材料發(fā)生反應(yīng)，也不會(huì)在體內(nèi)產(chǎn)生代謝物。它是一種對(duì)心腦血管影響最小的麻醉劑，與其他麻醉劑一樣，對(duì)人體沒(méi)有毒性和副作用
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: 電子特種氣體供需問(wèn)題亟待通過(guò)回收再利用技術(shù)解決

面對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來(lái)的溫室氣體排放問(wèn)題和地緣政治問(wèn)題引起的特殊氣體供求問(wèn)題，韓國(guó)專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體
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: 國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢(shì)了解下

電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng))，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來(lái)特種氣體的增量需求。行業(yè)壁壘和國(guó)內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對(duì)氣源和供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設(shè)備資質(zhì)、客戶認(rèn)證、市場(chǎng)服務(wù)共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。
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: 帶你了解一下我國(guó)的電子氣體

2018年全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45.12億美元，同比增長(zhǎng)16%，半導(dǎo)體用電子特氣行業(yè)增速高，龐大的市場(chǎng)規(guī)模，讓電子特氣的國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃全面加速！什么是電子氣體呢？電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料，被廣泛的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。電子特氣按其本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系
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: 三氟化氮價(jià)格會(huì)持續(xù)上漲么？

三氟化氮是電子特種氣體中需求量最大的氣體，是半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)制造的必備材料。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體和新型顯示器市場(chǎng)的發(fā)展，三氟化氮的需求不斷增加，主要生產(chǎn)企業(yè)在近幾年內(nèi)大規(guī)模擴(kuò)建，世界范圍內(nèi)三氟化氮的產(chǎn)量也有所上升。雖然這樣，9月份以來(lái)，三氟化氮市場(chǎng)仍出現(xiàn)了“缺貨”現(xiàn)象，主要是因?yàn)槭袌?chǎng)供應(yīng)跟不上需求量。隨著半導(dǎo)體超大規(guī)模集成線路芯片超微化和OLED等新型顯示技術(shù)的發(fā)展，NF3市場(chǎng)需求量也一直呈爆發(fā)式增長(zhǎng)，三氟化氮未來(lái)五年年均復(fù)合增長(zhǎng)率近10%。
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: 我國(guó)氦氣已成功打破技術(shù)壟斷

自貿(mào)易戰(zhàn)以來(lái)，美國(guó)一系列對(duì)芯片出口的管制，一時(shí)間，“卡脖子”話題引起了廣泛的討論。氦氣作為一種戰(zhàn)略性極高的氣體資源，也是芯片制造的重要環(huán)節(jié)，我國(guó)每年的需求量超過(guò)4000噸，但95%以上都依賴從美國(guó)、卡塔爾、澳大利亞等國(guó)進(jìn)口。為什么氦氣資源會(huì)影響芯片的制造呢？這就需要了解芯片的制造過(guò)程了在制造芯片時(shí)要用到單晶硅，而制作這種材料需要把高純多晶硅放在石英坩堝中加熱，溫度維持在1400度左右。這么高的溫度，如果沒(méi)有氦氣保護(hù)，就很容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。所以，芯片制造離不開(kāi)氦氣。上個(gè)月就
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