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氣相色譜法測定高純四氟化碳中三氟化氮雜質(zhì)的方法
四氟化碳這種含氟有機化合物作為蝕刻二氧化硅和氧化硅這樣的介質(zhì)材料已成熟運用多年,也是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。其混合氣體即四氟化碳和氧氣的混合、與氫的混合均在硅系列、薄膜蝕刻領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。同時在低溫下可作為低溫流體用,也在制冷、體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄露檢驗劑有一定的應(yīng)用空間。四氟化碳的廣泛應(yīng)用,其產(chǎn)品質(zhì)量要求也相應(yīng)的較為明確、規(guī)范。目前行業(yè)內(nèi)較為成熟的分析方法主要檢測四氟化碳中的氧(O2)、氮(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、六氟化硫(SF6)、水(H2O)更多 +
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四氟化碳到底有沒有毒性?
四氟化碳是一種無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,同時也是最穩(wěn)定的有機化合物之一,不溶于水。那么四氟化碳有沒有毒性的呢?今天的小編為你介紹一下四氟化碳的知識,更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838更多 +
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如果安全使用二氧化硫氣體?
二氧化硫?qū)儆谟卸練怏w,如何安全的使用二氧化硫一直是我們要關(guān)注的問題,下面紐瑞德小編將帶你一起去討論的如何安全的使用二氧化硫氣體,更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 (一)理化性狀和用途 無色氣體,有刺激性臭味。密度:2.3,沸點:-10℃。用于制造硫酸、亞硫酸鹽、硫酸鹽以及某些有機化合物的合成、漂白紙漿、精煉石油等。 (二)毒性更多 +
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揭秘三氟甲烷于高周波電漿系統(tǒng)中的反應(yīng)機制
很多客戶都在紐瑞德特種氣體購買過甲烷氣體,但是大家聽說過三氟甲烷么?從名字上看來三氟甲烷很像甲烷氣體的“親戚“是不是?其實三氟甲烷也是烷烴類的氣體之一,三氟甲烷,又稱三氟甲,是一種無色、微味,不導(dǎo)電的氣體,是理想的鹵代烷替代物。三氟甲烷主要用作低溫(-100℃)制冷劑,電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有機化合物的原料。紐瑞德特氣小編月月就為大家介紹一下三氟甲烷在高周波電漿系統(tǒng)中的反應(yīng)機制以便大家更好的了解三氟甲烷這個產(chǎn)品。更多 +
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