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: 什么是標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)確度

標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)研究、空氣污染、醫(yī)療診斷、石油化工、冶金地質(zhì)、核能、微電子、光電子等諸多領(lǐng)域。標(biāo)準(zhǔn)氣體被用戶用作定量標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是計(jì)量量值的標(biāo)準(zhǔn)，具有復(fù)制、溯源、仲裁、保存和傳遞量值的功能。因此，在標(biāo)準(zhǔn)氣體的生產(chǎn)中，氣體分布的準(zhǔn)確性非常重要，否則就無法用于質(zhì)量分析和控制。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織（IS0）已于1981年制定了標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。1985年，中國(guó)還將該標(biāo)準(zhǔn)視為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（gb5274-85）。該標(biāo)準(zhǔn)明確要求，在離開工廠時(shí)，必須在制備證書上注明標(biāo)準(zhǔn)氣體成分的相對(duì)不確定度。
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的幾種常用用途

（1）用于儀器儀表的檢查和校準(zhǔn) 現(xiàn)代生產(chǎn)過程，從原材料檢驗(yàn)、生產(chǎn)過程控制到最終產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)和評(píng)估，都離不開不同類型的儀器和儀表。為了保證高效率和高質(zhì)量的生產(chǎn)，需要使用不同的標(biāo)準(zhǔn)氣體定期檢查或校準(zhǔn)儀器儀表，尤其是在線儀器儀表在長(zhǎng)期使用或維修后，更需要使用標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。（2）用于監(jiān)控建筑和生活環(huán)境隨著人們生活水平的提高，人們對(duì)建筑物和房屋的裝飾要求也越來越高。室內(nèi)材料中的苯、甲醛、氨等有害物質(zhì)必須嚴(yán)格控制并準(zhǔn)確檢測(cè)。為了準(zhǔn)確測(cè)定族中有害氣體的含量，需要有相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)氣體來校準(zhǔn)儀器。（
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: 氦氣應(yīng)用（二）

（1）氦在電子工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。在半導(dǎo)體、液晶面板和光纖制造過程中，氦氣在實(shí)現(xiàn)零部件快速冷卻同時(shí)還能控制熱傳遞速率，改善了生產(chǎn)效率并減少了缺陷。此外，氦氣在硅晶片生產(chǎn)中也用作保護(hù)氣，隔絕空氣，避免單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生反應(yīng)。在電子支付領(lǐng)域，氦氖混合制成的氦氖激光器便宜高效且能耗低，廣泛應(yīng)用于條形碼識(shí)別、二維碼支付等。（2）核磁共振成像領(lǐng)域，已知的超導(dǎo)材料都要在-130℃以下的低溫中才能表現(xiàn)出特性，只有液氦能比較高效的實(shí)現(xiàn)這樣穩(wěn)定的超低溫。核磁共振成像儀的核心也是超導(dǎo)磁體，沒有液氦就不能
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: 用于校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)氣體

現(xiàn)代化的生產(chǎn)過程，從原料的檢驗(yàn)，生產(chǎn)流程的控制，直到最后產(chǎn)品質(zhì)量的檢驗(yàn)和評(píng)估，都離不開各種儀器和儀表。為了保證高質(zhì)量的生產(chǎn)，需要定期使用各種標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)其儀器儀表進(jìn)行檢定或校準(zhǔn)，特別是在線儀器儀表長(zhǎng)期使用和修理后，更需用標(biāo)準(zhǔn)氣體來校準(zhǔn)刻度。各種校準(zhǔn)用的標(biāo)準(zhǔn)氣體如下：組分名稱含量用途空氣中甲烷 10×10-6，1% 氣相色譜儀氫中甲烷 1% 氮中甲烷 100×10-6，1% 二氧化碳、丙烷 10×10-6，1% 氮中一氧化碳、
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的靜態(tài)配氣及特點(diǎn)

在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的空氣和廢氣監(jiān)測(cè)中，標(biāo)準(zhǔn)氣體如同標(biāo)準(zhǔn)溶液、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)那樣重要，是檢驗(yàn)檢測(cè)方法、評(píng)價(jià)采樣效率、繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線、校準(zhǔn)分析儀器及進(jìn)行檢測(cè)質(zhì)量控制的依據(jù)。配制低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法，通常分為：靜態(tài)配氣法和動(dòng)態(tài)配氣法。靜態(tài)配氣法是把一定量的氣態(tài)或蒸氣態(tài)的原料氣加入已知容積的容器中，再充入稀釋氣，混勻制得。標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度根據(jù)加入原料氣的稀釋氣的量及容器容積計(jì)算得知。所用原料氣可以是純氣，也可以是已知濃度的混合氣，其純度需用適宜的分析方法測(cè)定。靜態(tài)配氣法的優(yōu)點(diǎn)是所用設(shè)備簡(jiǎn)單、操作容易，但因有些氣體化學(xué)性質(zhì)較
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)度

1、標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的總則標(biāo)準(zhǔn)氣體的研制過程可分為原料氣的純度分析；稱量法成分壓制備：氣相色譜、化學(xué)發(fā)光等高精密分析方法標(biāo)定；性能考察及包裝條件等四個(gè)環(huán)節(jié)。標(biāo)準(zhǔn)氣體的研制和生產(chǎn)者應(yīng)確保有針對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)氣體的詳細(xì)技術(shù)資料等和可以復(fù)現(xiàn)的描述性文件指導(dǎo)制備過程，并保證制備所需設(shè)備的正常使用。所有制備過程應(yīng)按照預(yù)定制備程序進(jìn)行并受控，避免受到來自外界人或環(huán)境的影響。 2、標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的原料氣的純度分析標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)所提供特性量值的準(zhǔn)確性要求很高，在制備前應(yīng)對(duì)原料氣質(zhì)量進(jìn)行控制，如欲制備含量低于 100*10-6的
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的應(yīng)用及制備的技術(shù)

標(biāo)準(zhǔn)氣體是引氣體工業(yè)名詞，標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)，它們具有復(fù)現(xiàn)，保存和傳遞量值的基本作用，在物理，化學(xué)，生物與工程測(cè)量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x器和測(cè)量過程，評(píng)價(jià)測(cè)量方法的準(zhǔn)確度和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力，確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進(jìn)行量值仲裁等。無論是實(shí)驗(yàn)室色譜分析還是在線分析儀表的校正，都需要大量高質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)氣體，以準(zhǔn)確計(jì)算產(chǎn)品中組分的含量。因此標(biāo)準(zhǔn)氣體已廣泛在產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督和質(zhì)量控制、儀器儀表的校準(zhǔn)、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療衛(wèi)生、臨床檢驗(yàn)、分析方法的評(píng)價(jià)中應(yīng)用。近年來石
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)度

標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體廣泛地應(yīng)用于基礎(chǔ)科學(xué)、大氣污染、醫(yī)學(xué)診斷、石油化工、冶金地質(zhì)、原子能、微電子、光電子等諸多領(lǐng)域。標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)確度標(biāo)準(zhǔn)氣體是供用戶作定量標(biāo)準(zhǔn)的，由于標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是量值測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)，具有復(fù)現(xiàn)、溯源、仲裁、保存和傳遞量值的作用。因此，配氣的準(zhǔn)確度在標(biāo)準(zhǔn)氣生產(chǎn)中意義重大，否則用戶無法用此來進(jìn)行質(zhì)量的分析與控制。早在1981年國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(IS0)就制定了標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，1985年我國(guó)也將該標(biāo)準(zhǔn)視同為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB5274—85)。該標(biāo)準(zhǔn)明確要求標(biāo)準(zhǔn)氣體在出廠時(shí)必須在制備證
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: 六氟化硫的工業(yè)制備工藝方法及對(duì)比

工業(yè)上六氟化硫通常是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)來制備的, 除六氟化硫外, 還生成少量的四氟化硫( SF4 ) 等副產(chǎn)物。氟硫直接合成六氟化硫的方法可以分為氟氣與固體硫磺、與熔融硫磺、與硫磺蒸氣三種方式: 氟氣與固體硫磺反應(yīng),由于氟硫反應(yīng)是很激烈的放熱反應(yīng), 其反應(yīng)溫度不易控制, 導(dǎo)致副產(chǎn)物增加而加重后處理負(fù)擔(dān)。另外對(duì)密封的反應(yīng)器來說, 向其內(nèi)連續(xù)地加入固體硫磺也很困難, 故該方法不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與硫磺蒸氣反應(yīng), 是將硫磺加熱到445 ℃ (沸點(diǎn))以上, 使硫變成蒸氣送入反應(yīng)器與氟反應(yīng), 同樣也
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: 高純氣體在半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)的應(yīng)用？

高純氣體工藝系統(tǒng)目前主要用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（集成電路、平板顯示、光伏、LED等等）和光纖、生物制藥及食品飲料行業(yè)。高純氣體工藝系統(tǒng)的好壞會(huì)直接影響先進(jìn)制造行業(yè)中工藝設(shè)備的運(yùn)行及投產(chǎn)后的成品率。一個(gè)優(yōu)秀的高純氣體工藝系統(tǒng)設(shè) 企業(yè)如沃飛，能通過控制高純氣體的純度，實(shí)現(xiàn)其制程精度要求，保障并提升產(chǎn)品良率。 1、在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中高純氣體工藝系統(tǒng)的運(yùn)用高純度的特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。
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