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: 沖突之下，光刻機(jī)巨頭尋求烏克蘭氖氣替代，國(guó)產(chǎn)氖氣有望進(jìn)場(chǎng)補(bǔ)位

俄烏對(duì)峙狀況越來(lái)越激烈，這兩個(gè)國(guó)家都是全球氖氣主要生產(chǎn)國(guó)，特別是烏克蘭，供應(yīng)了全球70％的氖氣，這種稀有氣體對(duì)半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)至關(guān)重要，難以取代。所以俄烏沖突一爆發(fā)，光刻機(jī)巨頭阿斯麥便緊張兮兮，畢竟他家20％的氖氣供應(yīng)來(lái)自烏克蘭，要是供應(yīng)中斷，風(fēng)險(xiǎn)太大了，所以阿斯麥正在四處尋找其他氖氣供應(yīng)來(lái)源。雖說(shuō)，高純氖氣量產(chǎn)提純的技術(shù)門檻很高，能達(dá)標(biāo)的企業(yè)屈指可數(shù)，但由于中國(guó)是全球鋼鐵大國(guó)，氖氣是鋼鐵行業(yè)的副產(chǎn)品，我國(guó)對(duì)于這些稀有氣體的純化技術(shù)早已實(shí)現(xiàn)突破，生產(chǎn)工藝成熟，不是一項(xiàng)&ldqu
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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)
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: 韓國(guó)稀有氣體“氖”成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化！

隨著近年來(lái)半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速增長(zhǎng)，半導(dǎo)體工藝中使用的氖 (Ne)、氙 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國(guó)稀有氣體市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從2020年約1600億韓元增長(zhǎng)到2023年約2800億韓元，年均增長(zhǎng)20%。然而，韓國(guó)目前100%進(jìn)口稀有氣體。氖氣是空氣中含量?jī)H有0.00182%的一種稀有氣體，是半導(dǎo)體曝光工藝中使用的準(zhǔn)分子激光氣體的原料之一。過(guò)去，全部進(jìn)口并依賴外國(guó)技術(shù)，由于貿(mào)易爭(zhēng)端導(dǎo)致價(jià)格飆升和供應(yīng)短缺，韓國(guó)曾試圖將產(chǎn)品本地化。此次建成的裝置每年可生產(chǎn)約22000
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: 5G時(shí)代，鍺烷市場(chǎng)需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對(duì)整個(gè)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價(jià)值。5G時(shí)代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來(lái)滿足其對(duì)高性能和低功耗的要求。國(guó)家發(fā)改委《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃(2018-2020年)》曾對(duì)鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過(guò)具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來(lái)，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達(dá)百余種。日前，2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過(guò)科利德公司電子級(jí)一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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: 預(yù)測(cè)：2026年全球氦氣供應(yīng)過(guò)剩加劇，氦氣價(jià)格還會(huì)再降么？

近日電子特氣研討會(huì)上發(fā)表的專題報(bào)告——全球氦氣市場(chǎng)動(dòng)向，預(yù)測(cè)稱2026年后將出現(xiàn)供過(guò)于求。主要通過(guò)對(duì)氦氣供需情況分析、各國(guó)Key Supply Sources（美國(guó)、卡塔爾、俄羅斯、阿爾及利亞、澳大利亞、南非、波蘭、加拿大）、氦氣利用現(xiàn)狀等對(duì)全球氦氣市場(chǎng)進(jìn)行了評(píng)價(jià)。報(bào)告指出，到2026年全球氦30%將面臨供應(yīng)過(guò)剩。由于是半導(dǎo)體等工程中必需使用的特種氣體，因此掌握供求關(guān)系是非常重要的。報(bào)告提出，世界氦氣市場(chǎng)將從2020年代中期開(kāi)始出現(xiàn)供應(yīng)過(guò)剩，其理由有3個(gè)：新
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: 電子特種氣體供需問(wèn)題亟待通過(guò)回收再利用技術(shù)解決

面對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來(lái)的溫室氣體排放問(wèn)題和地緣政治問(wèn)題引起的特殊氣體供求問(wèn)題，韓國(guó)專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體
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: 氪氣價(jià)格飆漲是否會(huì)終結(jié)于此？

隨著科技進(jìn)步，氪氣因其特殊的物理特性被廣泛應(yīng)用于電子、醫(yī)學(xué)、中空玻璃及航空航天等領(lǐng)域。氪氣分離提取工藝要求較高，價(jià)格堪比黃金，因此又被稱為“黃金氣體”。近年來(lái)，氪氣市場(chǎng)價(jià)格飆漲的主要原因離不開(kāi)供應(yīng)用端需求的拉動(dòng)，尤其是航空和半導(dǎo)體領(lǐng)域需求增量較為顯著。氪氣主要用于半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件64層以上3D NAND高深寬比蝕刻工藝，在等離子狀態(tài)下與氧氣和其他氟碳?xì)怏w一起使用。日本鎧俠和韓國(guó)SK海力士是氪氣的主要客戶，氪氣需求量目前已經(jīng)接近全球可供應(yīng)量的50%。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)技
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: 國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢(shì)了解下

電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng))，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來(lái)特種氣體的增量需求。行業(yè)壁壘和國(guó)內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對(duì)氣源和供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設(shè)備資質(zhì)、客戶認(rèn)證、市場(chǎng)服務(wù)共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。
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