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特種氣體在干法蝕刻中的優(yōu)勢(shì)解析
特種氣體在蝕刻工藝中扮演著重要角色，尤其是在干法蝕刻中。相比濕蝕刻，干蝕刻利用氣體特別是氟基氣體與氯基氣體，展現(xiàn)出更優(yōu)越的各向異性和選擇性，顯著提高了蝕刻的精度和速度。通過對(duì)氣體的不斷改進(jìn)，蝕刻技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，推動(dòng)了圖形加工的精細(xì)化和高效化。更多 +
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