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芯片的生長素 — 電子特氣
電子特種氣體(簡稱:電子特氣)是特種氣體的一個重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料,在電子產(chǎn)業(yè)中的作用相當(dāng)于“生長激素”。廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝,其質(zhì)量對電子元器件的性能有重要影響。更多 +
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